[实用新型]切膜装置有效
申请号: | 201920342976.5 | 申请日: | 2019-03-18 |
公开(公告)号: | CN210025469U | 公开(公告)日: | 2020-02-07 |
发明(设计)人: | 谢军 | 申请(专利权)人: | 广东思沃精密机械有限公司 |
主分类号: | B26D1/45 | 分类号: | B26D1/45;B26D7/01;H01L21/67 |
代理公司: | 44414 深圳中一联合知识产权代理有限公司 | 代理人: | 张全文 |
地址: | 523000 广东省东莞市松*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 切割 晶圆 干膜 切割组件 切割台 切刀组件 移动驱动 驱动组件 真空吸盘 固定台 本实用新型 输出端相连 切割动作 切膜装置 让位槽 移动 贴覆 吸住 附着 驱动 | ||
1.切膜装置,其特征在于,包括切割台、切割组件、以及用于带动所述切割组件移动的移动驱动组件;所述切割台的中部设有真空吸盘,所述切割台开设有至少一个圆形的切割让位槽;所述切割组件包括与所述移动驱动组件的输出端相连的切割固定台、切刀组件、以及设于所述切割固定台且用于驱动所述切刀组件完成切割动作的切割驱动组件。
2.根据权利要求1所述的切膜装置,其特征在于,所述移动驱动组件包括支撑台、设于所述支撑台的水平驱动模组、以及与所述水平驱动模组的输出端相连的竖直驱动模组;所述切割固定台与所述竖直驱动模组的输出端相连。
3.根据权利要求2所述的切膜装置,其特征在于,所述水平驱动模组包括设于所述支撑台的水平电机、与所述水平电机的输出轴相连的水平丝杠轴、套设于所述水平丝杠轴的外部的水平丝杠螺母、以及与所述水平丝杠螺母相连的水平移动板;所述竖直驱动模组包括设于所述水平移动板的竖直电机、与所述竖直电机的输出轴相连的竖直丝杠轴、套设于所述竖直丝杠轴的外部的竖直丝杠螺母、以及与所述竖直丝杠螺母相连的竖直移动板,所述切割固定台与所述竖直移动板相连。
4.根据权利要求1所述的切膜装置,其特征在于,所述切割组件还包括设于所述切割驱动组件与所述切刀组件之间的安装板,所述切刀组件与所述安装板转动连接;所述切割组件还包括用于驱动所述切刀组件相对所述安装板转动的破膜驱动组件。
5.根据权利要求4所述的切膜装置,其特征在于,所述切刀组件包括与所述安装板转动连接的刀座、以及固定安装于所述刀座的刀具;所述破膜驱动组件包括与所述刀座转动连接的转动块、以及活动端与所述转动块相连的驱动气缸;所述驱动气缸的固定端与所述安装板转动连接。
6.根据权利要求5所述的切膜装置,其特征在于,所述刀座上设有第一转动座;所述转动块与所述第一转动座转动连接;所述安装板上设有第二转动座;所述驱动气缸的固定端与所述第二转动座转动连接。
7.根据权利要求4所述的切膜装置,其特征在于,所述切割让位槽的侧壁开设有下刀避让缺口。
8.根据权利要求4所述的切膜装置,其特征在于,所述切割驱动组件与所述安装板之间设有连接板,所述连接板开设有连接通孔,所述安装板于长度方向开设有若干螺纹孔;所述连接板与所述安装板之间设有连接螺钉,所述连接螺钉贯穿所述连接通孔并与所述螺纹孔螺纹连接。
9.根据权利要求8所述的切膜装置,其特征在于,所述切割让位槽的数量为多个,各个所述切割让位槽的圆心相同。
10.根据权利要求8所述的切膜装置,其特征在于,所述连接板开设有滑动槽,所述安装板设有位于所述滑动槽内的滑动凸起。
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