[实用新型]切膜装置有效
| 申请号： | 201920342978.4 | 申请日： | 2019-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN210025470U | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 谢军 | 申请（专利权）人： | 广东思沃精密机械有限公司 |
| 主分类号： | B26D1/45 | 分类号： | B26D1/45;B26D5/06;H01L21/67 |
| 代理公司： | 44414 深圳中一联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市松*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 切割 切割组件 驱动模组 干膜 移动驱动 晶圆 切膜 输出端相连 切刀组件 固定台 上型腔 下型腔 支撑台 本实用新型 切割动作 切膜装置 驱动组件 组件包括 组件带动 膜装置 贴膜 驱动 移动 | ||
1.切膜装置，其特征在于，包括切割组件、以及用于带动所述切割组件移动的移动驱动组件；所述移动驱动组件包括支撑台、设于所述支撑台的第一驱动模组、与所述第一驱动模组的输出端相连的第二驱动模组、以及与所述第二驱动模组的输出端相连的第三驱动模组；所述切割组件包括与所述第三驱动模组的输出端相连的切割固定台、切刀组件、以及设于所述切割固定台且用于驱动所述切刀组件完成切割动作的切割驱动组件。
2.根据权利要求1所述的切膜装置，其特征在于，所述第一驱动模组包括设于所述支撑台的第一驱动电机、与所述第一驱动电机传动连接的第一丝杠轴、以及与所述第一丝杠轴相配合的第一丝杠螺母；所述第二驱动模组与所述第一丝杠螺母相连。
3.根据权利要求2所述的切膜装置，其特征在于，所述第二驱动模组包括与所述第一丝杠螺母相连的第一移动板、设于所述第一移动板的第二驱动电机、与所述第二驱动电机传动连接的第二丝杠轴、以及与所述第二丝杠轴相配合的第二丝杠螺母；所述第三驱动模组与所述第二丝杠螺母相连。
4.根据权利要求3所述的切膜装置，其特征在于，所述第三驱动模组包括与所述第二丝杠螺母相连的第二移动板、设于所述第二移动板的第三驱动电机、与所述第三驱动电机传动连接的第三丝杠轴、以及与所述第三丝杠轴相配合的第三丝杠螺母；所述固定台与所述第三丝杠螺母相连。
5.根据权利要求4所述的切膜装置，其特征在于，所述第一丝杠轴与所述第二丝杠轴均沿水平方向设置，所述第一丝杠轴与所述第二丝杠轴相互垂直设置；所述第三丝杠轴沿竖直方向设置。
6.根据权利要求1-5任一项所述的切膜装置，其特征在于，所述切割组件还包括设于所述切割驱动组件与所述切刀组件之间的安装板，所述切刀组件与所述安装板转动连接；所述切割组件还包括用于驱动所述切刀组件相对所述安装板转动以使所述切刀组件与待切产品的边界抵接的破膜驱动组件。
7.根据权利要求6所述的切膜装置，其特征在于，所述切刀组件包括与所述安装板转动连接的刀座、以及固定安装于所述刀座的刀具。
8.根据权利要求7所述的切膜装置，其特征在于，所述破膜驱动组件包括与所述刀座转动连接的转动块、以及活动端与所述转动块相连的驱动气缸；所述驱动气缸的固定端与所述安装板转动连接。
9.根据权利要求8所述的切膜装置，其特征在于，所述刀座上设有第一转动座；所述转动块与所述第一转动座转动连接。
10.根据权利要求8所述的切膜装置，其特征在于，所述安装板上设有第二转动座；所述驱动气缸的固定端与所述第二转动座转动连接。
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