[实用新型]石墨盘移动机构有效
申请号: | 201920345963.3 | 申请日: | 2019-03-18 |
公开(公告)号: | CN209401604U | 公开(公告)日: | 2019-09-17 |
发明(设计)人: | 向军;冯霞霞;封浩 | 申请(专利权)人: | 江苏新智达新能源设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/687;B25B11/02 |
代理公司: | 南京中高专利代理有限公司 32333 | 代理人: | 祝进 |
地址: | 214000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 夹紧组件 石墨盘 移动组件 下端 推料组件 移动机构 料架 本实用新型 生产自动化 固定设置 上端固定 生产进度 自动更换 进口端 夹紧 推送 储存 | ||
1.一种石墨盘移动机构,其特征在于,包括用于夹紧石墨盘的夹紧组件(1),所述夹紧组件(1)下端设有移动组件(2),所述移动组件(2)上端固定连接在所述夹紧组件(1)的下端,所述移动组件(2)的下端固定设置;
所述夹紧组件(1)的进口端安装有用于储存石墨盘的料架(3),所述夹紧组件(1)的左侧安装有推料组件(4),所述推料组件(4)适于将料架(3)内的石墨盘推送至夹紧组件(1)内。
2.根据权利要求1所述的石墨盘移动机构,其特征在于,所述夹紧组件(1)包括托板(11),所述托板(11)的左端固定连接有定位板(111),所述托板(11)的右端滑动连接有夹紧板(112),所述托板(11)的上端面、定位板(111)的右端面以及夹紧板(112)的左端面之间形成用于夹紧石墨盘的固定区。
3.根据权利要求2所述的石墨盘移动机构,其特征在于,所述定位板(111)上设有夹紧气缸(113),所述定位板(111)的上端开设有避让槽,所述夹紧气缸(113)的缸体固定连接在定位板(111)的左端面上,所述夹紧气缸(113)的推杆上固定连接有用于在避让槽内滑动的压紧块(12),且所述夹紧气缸(113)带动压紧块(12)左右滑动以使石墨盘被夹紧在固定区内。
4.根据权利要求3所述的石墨盘移动机构,其特征在于,所述定位板(111)与夹紧板(112)之间设有位移杆(13),所述位移杆(13)的一端固定连接在定位板(111)上,所述位移杆(13)的另一端滑动连接在夹紧板(112)上,所述夹紧板(112)上固定连接有锁紧块(14),所述锁紧块(14)与所述位移杆(13)相配合,所述夹紧板(112)的下端固定连接有位移滑块(15),所述托板(11)的上端固定连接有位移导轨(16),所述位移滑块(15)滑动连接在位移导轨(16)上,所述夹紧板(112)在托板(11)上左右滑动以使固定区与石墨盘相配合。
5.根据权利要求4所述的石墨盘移动机构,其特征在于,所述移动组件(2)包括第一滑台底板(21)以及第二滑台底板(22);
所述托板(11)的下端固定连接有可在第一滑台底板(21)上左右滑动的第一螺母(23),所述第一滑台底板(21)上转动连接有第一丝杆(24),所述第一螺母(23)螺纹连接在第一丝杆(24)上,所述第一滑台底板(21)的侧壁面上固定连接有第一电机(25),所述第一电机(25)的输出轴与第一丝杆(24)固定连接,且所述第一电机(25)带动第一丝杆(24)转动以使托板(11)左右移动;
所述第一滑台底板(21)的下端固定连接有可在第二滑台底板(22)上前后滑动的第二螺母(26),所述第二滑台底板(22)上转动连接有第二丝杆(27),所述第二螺母(26)螺纹连接在第二丝杆(27)上,所述第二滑台底板(22)的侧壁面上固定连接有第二电机(28),所述第二电机(28)的输出轴与第二丝杆(27)固定连接,且所述第二电机(28)带动第二丝杆(27)转动以使托板(11)前后移动。
6.根据权利要求5所述的石墨盘移动机构,其特征在于,所述推料组件(4)包括横梁(41),所述横梁(41)固定设置,所述横梁(41)上滑动连接有推料座(411),所述横梁(41)的前端固定连接有推料电机(412),所述推料电机(412)的输出轴上固定连接有主推料齿轮,所述主推料齿轮上啮合有推料皮带(413),所述横梁(41)的后端转动连接有副推料齿轮,所述推料皮带(413)与所述副推料齿轮相啮合;
所述推料座(411)的下端固定连接有齿板(414),所述齿板(414)的上端面与推料座(411)的下端面之间形成移动间隙,所述推料皮带(413)设置在移动间隙内,且所述齿板(414)上的齿与所述推料皮带(413)上的齿相配合以带动推料座(411)在横梁(41)上前后移动;
所述推料座(411)上端设有推料气缸(415),所述推料气缸(415)的缸体固定连接在推料座(411)上,所述推料气缸(415)的推杆上固定连接有推料板(416),所述推料板(416)的前后两端均滑动连接有推送销(417),且两个推送销(417)之间设有缓冲弹簧(418)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造