[实用新型]一种用于超高真空腔体的激光除垢装置

权利要求书

1.一种用于超高真空腔体的激光除垢装置，其特征在于，包括工作台和基座，在所述工作台的内部设有激光器、除尘装置和驱动电机，在所述工作台的上端面设有控制器，在所述基座的下端面设有滚轮，所述驱动电机的输出轴通过传输装置与滚轮的轮轴连接，还包括导光管、导尘管和除尘罩，所述除尘罩顶部设有通孔和设置于除尘罩顶部外侧且与除尘罩内部连通的连接管，所述除尘装置包括储尘室和真空泵，所述储尘室顶部设有灰尘进口和气孔，在所述气孔内设有过滤膜，所述导尘管贯穿工作台的侧壁且一端与除尘罩的连接管连通另一端与储尘室的灰尘进口连通，所述导光管贯穿工作台的侧壁和所述除尘罩的通孔，且导光管与所述除尘罩的通孔密封连接，导光管一端与激光器连接另一端设有除垢头，且除垢头位于除尘罩的内部，所述激光器、真空泵和驱动电机均与控制器连接。

2.如权利要求1所述的用于超高真空腔体的激光除垢装置，其特征在于，在所述基座和工作台之间还设有气缸升降装置，所述气缸升降装置与控制器连接。

3.如权利要求2所述的用于超高真空腔体的激光除垢装置，其特征在于，在所述控制器内还设有第一无线通讯模块，还包括设置于除垢头底部的探测装置，该探测装置包括锈斑探测器、与锈斑探测器连接的处理器以及与处理器连接的第二无线通讯模块。

4.如权利要求3所述的用于超高真空腔体的激光除垢装置，其特征在于，所述驱动电机为步进电机。

5.如权利要求4所述的用于超高真空腔体的激光除垢装置，其特征在于，所述过滤膜的孔径为30um-50um，其材质为聚四氟乙烯。