[实用新型]一种电子束加工设备的磁聚焦装置有效
| 申请号： | 201920361742.5 | 申请日： | 2019-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN209526063U | 公开（公告）日： | 2019-10-22 |
| 发明（设计）人： | 白雁力;姚荣彬;高海英;王旬;刘达见 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | H01J37/14 | 分类号： | H01J37/14;H01J37/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 541004 广西壮族自*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磁聚焦装置 底板 定位槽 真空室 封板 电子束加工设备 本实用新型 真空室内腔 便于拆卸 电子枪 伸缩柱 螺槽 定位装置 工作效率 固定装置 维修 中心处 内腔 省时 拆卸 省力 配合 | ||
1.一种电子束加工设备的磁聚焦装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的顶部固定连接有真空室(2)，所述真空室(2)的顶部固定连接有封板(3)，所述封板(3)底部的中心处固定连接有电子枪(4)，所述真空室(2)内腔两侧的顶部和底部均设置有螺槽(5)，所述真空室(2)内腔的两侧均开设有定位槽(6)，所述定位槽(6)的内腔设置有伸缩柱(7)，所述伸缩柱(7)的顶部和底部均设置有定位装置(8)，所述伸缩柱(7)顶部的内侧和底部的内侧均设置有固定装置(9)，所述伸缩柱(7)的内侧固定连接有磁聚焦装置主体(10)。
2.根据权利要求1所述的一种电子束加工设备的磁聚焦装置，其特征在于：所述定位装置(8)包括定位板(81)，所述定位板(81)的外侧开设有定位孔(82)，所述定位孔(82)的内腔设置有定位柱(83)，所述定位柱(83)的外侧与定位槽(6)内腔外侧的顶部和底部固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种电子束加工设备的磁聚焦装置，其特征在于：所述固定装置(9)包括安装板(91)，所述安装板(91)的内侧开设有通孔(92)，所述通孔(92)的内腔设置有螺栓(93)，所述螺栓(93)的表面套设有垫片，所述螺栓(93)的外侧贯穿至螺槽(5)的内腔。
4.根据权利要求1所述的一种电子束加工设备的磁聚焦装置，其特征在于：所述底板(1)的顶部固定连接有操作台，所述底板(1)底部的两侧均固定连接有支撑腿，且支撑腿的底部固定连接有防滑垫。
5.根据权利要求1所述的一种电子束加工设备的磁聚焦装置，其特征在于：所述电子枪(4)内腔的顶部固定连接有电子发射器，且电子发射器的底部设置有灯丝，所述电子枪(4)的内腔从上至下依次横向固定连接有阴极块、聚束极块和阳极块。
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