[实用新型]一种电子束加工设备的磁聚焦装置

说明书

本实用新型公开了一种电子束加工设备的磁聚焦装置，包括底板，所述底板的顶部固定连接有真空室，所述真空室的顶部固定连接有封板，所述封板底部的中心处固定连接有电子枪，所述真空室内腔两侧的顶部和底部均设置有螺槽，所述真空室内腔的两侧均开设有定位槽，所述定位槽的内腔设置有伸缩柱。本实用新型通过设置底板、真空室、封板、电子枪、螺槽、定位槽、伸缩柱、定位装置、固定装置和磁聚焦装置主体的相互配合，达到了便于拆卸维修的优点，解决了现有的磁聚焦装置不便于拆卸维修的问题，当人们需要拆卸磁聚焦装置时，省时省力，减少了人们的劳动力，提高了人们的工作效率，从而提高了磁聚焦装置的实用性。

技术领域

本实用新型涉及电子束加工技术领域，具体为一种电子束加工设备的磁聚焦装置。

背景技术

电子束加工是利用高能量的会聚电子束的热效应或电离效应对材料进行的加工，利用电子束的热效应可以对材料进行表面热处理、焊接、刻蚀、钻孔、熔炼，或直接使材料升华，电子束曝光则是一种利用电子束辐射效应的加工方法，作为加热工具，电子束的特点是功率高和功率密度大，能在瞬间把能量传给工件，电子束的参数和位置可以精确和迅速地调节，能用计算机控制并在无污染的真空中进行加工，根据电子束功率密度和电子束与材料作用时间的不同，可以完成各种不同的加工，而在电子束加工设备中需要使用到磁聚焦装置，以便于对电子束产生洛伦兹力，使电子束导向并调节其外形，从而达到让电子束会聚的目的，目前现有的磁聚焦装置，不便于拆卸维修，当人们需要拆卸磁聚焦装置时，费时费力，增加了人们的劳动力，降低了人们的工作效率，从而降低了磁聚焦装置的实用性。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种电子束加工设备的磁聚焦装置，具备便于拆卸维修的优点，解决了现有的磁聚焦装置不便于拆卸维修的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种电子束加工设备的磁聚焦装置，包括底板，所述底板的顶部固定连接有真空室，所述真空室的顶部固定连接有封板，所述封板底部的中心处固定连接有电子枪，所述真空室内腔两侧的顶部和底部均设置有螺槽，所述真空室内腔的两侧均开设有定位槽，所述定位槽的内腔设置有伸缩柱，所述伸缩柱的顶部和底部均设置有定位装置，所述伸缩柱顶部的内侧和底部的内侧均设置有固定装置，所述伸缩柱的内侧固定连接有磁聚焦装置主体。

优选的，所述定位装置包括定位板，所述定位板的外侧开设有定位孔，所述定位孔的内腔设置有定位柱，所述定位柱的外侧与定位槽内腔外侧的顶部和底部固定连接。

优选的，所述固定装置包括安装板，所述安装板的内侧开设有通孔，所述通孔的内腔设置有螺栓，所述螺栓的表面套设有垫片，所述螺栓的外侧贯穿至螺槽的内腔。

优选的，所述底板的顶部固定连接有操作台，所述底板底部的两侧均固定连接有支撑腿，且支撑腿的底部固定连接有防滑垫。

优选的，所述电子枪内腔的顶部固定连接有电子发射器，且电子发射器的底部设置有灯丝，所述电子枪的内腔从上至下依次横向固定连接有阴极块、聚束极块和阳极块。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种电子束加工设备的磁聚焦装置，具备以下有益效果：

1、本实用新型通过设置底板、真空室、封板、电子枪、螺槽、定位槽、伸缩柱、定位装置、固定装置和磁聚焦装置主体的相互配合，达到了便于拆卸维修的优点，解决了现有的磁聚焦装置不便于拆卸维修的问题，当人们需要拆卸磁聚焦装置时，省时省力，减少了人们的劳动力，提高了人们的工作效率，从而提高了磁聚焦装置的实用性。