[实用新型]一种预膜器及预膜系统

权利要求书

1.一种预膜器，其特征在于，包括容置装置、弹性密封板和弹性预膜板，其中，

所述弹性密封板和所述弹性预膜板间隔设置在待预膜的管道内，且所述弹性密封板和所述弹性预膜板与所述管道的内壁过盈配合，所述弹性密封板、所述弹性预膜板以及位于所述弹性密封板和所述弹性预膜板之间的所述管道的内壁构成预膜空间；

所述容置装置内设置有容积受控变化的缓蚀剂容纳腔，所述缓蚀剂容纳腔连接有缓蚀剂注入管和缓蚀剂排出管，所述缓蚀剂排出管与所述预膜空间连通；

所述缓蚀剂注入管设置有第一阀门，所述缓蚀剂排出管设置有第二阀门。

2.根据权利要求1所述的预膜器，其特征在于，所述预膜空间设置有多孔层，所述多孔层与所述管道的内壁贴合；

所述多孔层包括连通至所述管道的内壁处的多个孔隙。

3.根据权利要求2所述的预膜器，其特征在于，所述多孔层为海绵层。

4.根据权利要求1所述的预膜器，其特征在于，所述弹性密封板为橡胶直板，所述弹性预膜板为第一皮碗。

5.根据权利要求4所述的预膜器，其特征在于，所述预膜器还包括第二皮碗，所述第二皮碗与所述第一皮碗间隔设置。

6.根据权利要求1所述的预膜器，其特征在于，所述容置装置包括活塞筒和安装在活塞筒内的活塞，所述活塞将所述活塞筒分隔成所述缓蚀剂容纳腔和气体容纳腔，且当所述活塞移动时所述缓蚀剂容纳腔的容积改变。

7.根据权利要求6所述的预膜器，其特征在于，所述活塞筒内设有用于阻挡所述活塞的活塞限位环，所述活塞位于所述活塞限位环处时所述缓蚀剂容纳腔容积最小；

所述缓蚀剂注入管和所述缓蚀剂排出管分别与所述缓蚀剂容纳腔连接于所述活塞限位环背向所述活塞一侧。

8.根据权利要求1所述的预膜器，其特征在于，所述第二阀门为电磁阀，所述预膜器还包括控制电路，所述控制电路包括所述电磁阀、电源和常闭开关，所述电磁阀和所述电源通过导线连接，所述常闭开关设置于所述导线上；

当所述缓蚀剂容纳腔的容积变化至第一预设值时，所述常闭开关断开，所述控制电路控制所述电磁阀关闭。

9.一种预膜系统，其特征在于，包括至少两个如权利要求1-8任一所述的预膜器，相邻的两个所述预膜器通过万向连接器连接。

10.根据权利要求9所述的预膜系统，其特征在于，位于所述万向连接器的前方一侧的预膜器为前置预膜器，位于所述万向连接器的后方一侧的预膜器为后置预膜器，所述后置预膜器的第二阀门为第二电磁阀；

所述后置预膜器包括联动电路，所述联动电路包括所述第二电磁阀、常开开关和第二电源，所述第二电磁阀和所述第二电源通过导线连接，所述常开开关设置于所述导线上；

当所述前置预膜器的缓蚀剂容纳腔的容积变化至第二预设值时，所述常开开关闭合，所述联动电路控制所述第二电磁阀打开。

11.根据权利要求10所述的预膜系统，其特征在于，所述联动电路还包括常闭开关，所述常闭开关设置于所述导线上；

当所述常开开关闭合且所述后置预膜器的缓蚀剂容纳腔的容积变化至最小时，所述常闭开关断开，所述联动电路控制所述第二电磁阀闭合。