[实用新型]一种ITO靶材磨外圆夹持工装

权利要求书

1.一种ITO靶材磨外圆夹持工装，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的顶部开设有滑槽(2)，所述滑槽(2)内滑动安装有第一安装板(3)，所述滑槽(2)的一侧内壁上开设有转动槽(4)，所述滑槽(2)远离转动槽(4)的一侧内壁上开设有转动孔(5)，所述转动槽(4)和转动孔(5)内转动安装有同一个螺杆(6)，所述螺杆(6)和第一安装板(3)螺纹连接，所述滑槽(2)的两侧内壁上固定安装有圆杆(7)，所述圆杆(7)和第一安装板(3)滑动连接，所述底座(1)的顶部固定安装有第二安装板(8)，所述第一安装板(3)和第二安装板(8)上分别装有第一转动轴(9)和第二转动轴(10)，在第一转动轴(9)和第二转动轴(10)上分别安装有圆台状的定位块(11)和固定块(12)；所述第二安装板(8)的第二转动轴(10)远离定位块(11)的一端固定安装有第一齿轮(13)，所述底座(1)的顶部固定安装有电机(14)，所述电机(14)的输出轴上固定安装有第二齿轮(15)，所述第二齿轮(15)和第一齿轮(13)相啮合。

2.根据权利要求1所述的ITO靶材磨外圆夹持工装，其特征在于，所述固定块(12)和定位块(11)上标有尺寸刻度线。

3.根据权利要求1所述的ITO靶材磨外圆夹持工装，其特征在于，所述固定块(12)和定位块(11)为橡胶材质。

4.根据权利要求1所述的ITO靶材磨外圆夹持工装，其特征在于，所述第一安装板(3)和第二安装板(8)上均开设有通孔，所述第一转动轴(9)和第二转动轴(10)分别和对应的通孔的内壁转动连接。

5.根据权利要求1所述的ITO靶材磨外圆夹持工装，其特征在于，所述转动槽(4)内设有第一轴承，所述第一轴承的外圈和转动槽(4)的内壁固定连接，所述第一轴承的内圈固定套设在螺杆(6)上。

6.根据权利要求1所述的ITO靶材磨外圆夹持工装，其特征在于，所述第一安装板(3)上开设有螺孔，所述螺杆(6)和螺孔螺纹连接。

7.根据权利要求1所述的ITO靶材磨外圆夹持工装，其特征在于，所述第一安装板(3)上开设有滑孔，所述圆杆(7)和滑孔的内壁滑动连接。

8.根据权利要求1所述的ITO靶材磨外圆夹持工装，其特征在于，所述转动孔(5)内设有第二轴承，所述第二轴承的外圈和转动孔(5)的内壁固定连接，所述第二轴承的内圈固定套设在螺杆(6)上。