[实用新型]一种ITO靶材磨外圆夹持工装

说明书

本实用新型公开了一种ITO靶材磨外圆夹持工装，包括底座，所述底座的顶部开设有滑槽，所述滑槽内滑动安装有第一安装板，所述滑槽的一侧内壁上开设有转动槽，所述滑槽远离转动槽的一侧内壁上开设有转动孔，所述转动槽和转动孔内转动安装有同一个螺杆，所述螺杆和第一安装板螺纹连接，所述滑槽的两侧内壁上固定安装有圆杆，所述圆杆和第一安装板滑动连接，所述底座的顶部固定安装有第二安装板，所述第一安装板和第二安装板上装有转动轴，在第一安装板、第二安装板的转动轴上分别安装有圆台状的定位块和固定块。本实用新型通过采用固定块和定位块对ITO靶材进行夹持，在打磨过程中无盲区，可一次将ITO靶材外表面完全打磨，无需调整夹持位置，加工效率高。

技术领域

本实用新型涉及ITO靶材制造领域，更具体地，涉及一种ITO靶材磨外圆夹持工装。

背景技术

ITO靶材呈圆柱空心状，经过烧结后靶材外圆表面并不规则，需要进一步打磨以达到合格尺寸。在对ITO圆筒靶材进行加工时，因为靶材材质易碎，形状不能变形的原因，对夹持工装的要求较高。

现有技术中，通常用安装块将圆筒靶材两端夹持后进行转动，防止碰裂。但是这种夹持方法会存在加工盲区，被安装块夹持的部位无法打磨。在打磨过程中需要调整夹持位置，才能将靶材外圆表面完全加工，工作效率低。在调整夹持位置时，由于ITO靶材脆性高，一旦出现磕碰，将使靶材碎裂。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有技术中的不足，提供一种ITO靶材磨外圆夹持工装，通过使用圆台状的定位块和固定块夹持ITO靶材，避免出现加工盲区，提高了ITO靶材的打磨效率。

本实用新型的目的通过以下技术方案实现：

一种ITO靶材磨外圆夹持工装，包括底座，所述底座的顶部开设有滑槽，所述滑槽内滑动安装有第一安装板，所述滑槽的一侧内壁上开设有转动槽，所述滑槽远离转动槽的一侧内壁上开设有转动孔，所述转动槽和转动孔内转动安装有同一个螺杆，所述螺杆和第一安装板螺纹连接，所述滑槽的两侧内壁上固定安装有圆杆，所述圆杆和第一安装板滑动连接，所述底座的顶部固定安装有第二安装板，所述第一安装板和第二安装板上装有转动轴，在第一安装板、第二安装板的转动轴上分别安装有圆台状的定位块和固定块；所述第二安装板上的第二转动轴远离定位块的一端固定安装有第一齿轮，所述底座的顶部固定安装有电机，所述电机的输出轴上固定安装有第二齿轮，所述第二齿轮和第一齿轮相啮合。

进一步地，所述固定块和定位块上标有尺寸刻度线。

进一步地，所述固定块和定位块为橡胶材质。

进一步地，所述第一安装板和第二安装板上均开设有通孔，所述第一转动轴和第二转动轴分别和对应的通孔的内壁转动连接。

进一步地，所述转动槽内设有第一轴承，所述第一轴承的外圈和转动槽的内壁固定连接，所述第一轴承的内圈固定套设在螺杆上。

进一步地，所述第一安装板上开设有螺孔，所述螺杆和螺孔螺纹连接。

进一步地，所述第一安装板上开设有滑孔，所述圆杆和滑孔的内壁滑动连接。

进一步地，所述转动孔内设有第二轴承，所述第二轴承的外圈和转动孔的内壁固定连接，所述第二轴承的内圈固定套设在螺杆上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本实用新型通过采用圆台状的固定块和定位块对ITO靶材进行夹持，在打磨过程中无盲区，能将ITO靶材外圆完全打磨。固定块和定位块采用橡胶材料制成，与靶材贴合性好，在夹持过程中不会过度挤压靶材。

本实用新型通过在固定块和定位块上设置尺寸刻度线，可以直接读取ITO 靶材的直径大小，能保证ITO靶材的打磨精度。固定块和定位块呈圆台状，可加工不同尺寸的ITO靶材，应用范围广。