[实用新型]一种用于真空蒸镀的送料机构有效
申请号: | 201920388290.X | 申请日: | 2019-03-26 |
公开(公告)号: | CN209854236U | 公开(公告)日: | 2019-12-27 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 福建华佳彩有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/50 |
代理公司: | 35219 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 林祥翔;徐剑兵 |
地址: | 351100 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蒸镀 玻璃 挂钩 夹具单元 光罩 横向滑动单元 玻璃放置 夹片单元 机械臂 空腔 本实用新型 抽真空处理 玻璃原料 平面保持 驱动单元 生产效率 送料机构 真空蒸镀 玻璃夹 固定架 横向拉 形变量 再使用 偏移 对位 夹持 拉伸 破片 松开 摩擦 | ||
1.一种用于真空蒸镀的送料机构,其特征在于,包括夹具单元、机械臂、蒸镀空腔和蒸镀光罩;
所述蒸镀光罩设置在蒸镀空腔内,且蒸镀光罩位于蒸镀空腔内的坩埚上方开口处,所述机械臂设置在蒸镀空腔的一侧上;
所述夹具单元包括固定架、第一挂钩、第二挂钩、横向滑动单元、夹片单元和第一驱动单元,所述固定架设置在蒸镀空腔的另一侧上,横向滑动单元设置在第一挂钩与第二挂钩之间,且第一挂钩与第二挂钩对称设置在横向滑动单元的两侧上;
所述第一驱动单元设置在固定架上,第一驱动单元的输出轴设置在横向滑动单元的固定架上,夹片单元设置在第一挂钩与第二挂钩之间,且夹片单元位于第一挂钩和第二挂钩的上方,所述第一挂钩和第二挂钩位于蒸镀空腔的开口上方,机械臂用于将需要蒸镀的玻璃放置于第一挂钩的倒钩和第二挂钩的倒钩上,横向滑动单元用于带动第一挂钩和第二挂钩横向移动。
2.根据权利要求1所述的一种用于真空蒸镀的送料机构,其特征在于,所述夹片单元包括第一夹板、第二夹板、第二驱动单元和第三驱动单元,第二驱动单元设置在第一挂钩的侧面上,第一夹板设置在第二驱动单元的输出轴上,且第一夹板位于第一挂钩的倒钩上方,第三驱动单元设置在第二挂钩的侧面上,第二夹板设置在第三驱动单元的输出轴上,且第二夹板位于第二挂钩的倒钩上方。
3.根据权利要求2所述的一种用于真空蒸镀的送料机构,其特征在于,所述第二驱动单元和第三驱动单元为气缸、油缸或直线电机。
4.根据权利要求1所述的一种用于真空蒸镀的送料机构,其特征在于,所述机械臂的夹爪端设置有托盘,所述托盘的顶面设置有支撑凸起。
5.根据权利要求1所述的一种用于真空蒸镀的送料机构,其特征在于,所述蒸镀光罩的支撑板上设置有校准槽口,校准槽口用于对第一挂钩和第二挂钩在放置玻璃于蒸镀光罩上时进行限位。
6.根据权利要求1所述的一种用于真空蒸镀的送料机构,其特征在于,所述横向滑动单元包括电动机、第一涡杆连杆、第二涡杆连杆和连接套,所述电动机设置在连接套的外侧面上,电动机的输出轴贯穿连接套的侧壁设置有齿轮,第一涡杆连杆的连接端设置在第一挂钩的顶端上,第一涡杆连杆的驱动端设置在连接套内,且第一涡杆连杆与齿轮的一侧相互啮合设置,第二涡杆连杆的连接端设置在第二挂钩的顶端上,第二涡杆连杆的驱动端设置在连接套内,且第二涡杆连杆与齿轮的另一侧相互啮合设置。
7.根据权利要求1所述的一种用于真空蒸镀的送料机构,其特征在于,所述第一驱动单元为气缸、油缸或直线电机。
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