[实用新型]一种用于真空蒸镀的送料机构

说明书

本实用新型提供一种用于真空蒸镀的送料机构，包括夹具单元、机械臂、蒸镀空腔和蒸镀光罩，夹具单元包括固定架、第一挂钩、第二挂钩、横向滑动单元、夹片单元和第一驱动单元。机械臂对需要蒸镀的玻璃原料进行输送，将玻璃放置于第一挂钩与第二挂钩上，通过夹片单元将第一挂钩与第二挂钩上的玻璃夹紧，再使用横向滑动单元将玻璃横向拉紧。因此再将玻璃放置于蒸镀光罩上时，可以与蒸镀光罩的平面保持水平，以防止玻璃在对位后放下时，因为摩擦造成偏移，而且通过夹持和拉伸的方式防止厚度较薄的玻璃因为形变量过大而破片。在放下玻璃后，夹具单元松开玻璃，继而对蒸镀空腔进行抽真空处理，再对玻璃进行蒸镀，提高了产品的生产效率和产品质量。

技术领域

本实用新型涉及真空蒸镀设备领域，尤其涉及一种用于真空蒸镀的送料机构。

背景技术

AMOLED(Active-matrix organic light-emitting diode，有源矩阵有机发光二极体或主动矩阵有机发光二极体)目前较为成熟的制备工艺是有机真空蒸镀工艺，有机真空蒸镀工艺主要是在真空腔内，将装有有机材料的坩埚通过加热进行蒸镀成膜。

具体的，将玻璃放入蒸镀腔内的挂钩上，并通过挂钩的移动将该玻璃放置在蒸镀光罩上，通过蒸镀光罩上的通孔在玻璃上形成特定蒸镀图形。然而现有挂钩通常是仅在玻璃下面搭接，进而支撑玻璃并移动，但玻璃因为重力原因，导致其中间下垂，使得玻璃在与蒸镀光罩对位放下时，因为摩擦、平铺移动等原因造成偏移，影响对位精度。且厚度越薄的玻璃形变量越大，会导致对位精度偏差越大，甚至因为形变量过大而导致破片，同时造成蒸镀出不合格的产品，提高了生产成本。

实用新型内容

为此，需要提供一种用于真空蒸镀的送料机构，解决在放置需要蒸镀的玻璃时，发生偏移的问题。

为实现上述目的，发明人提供了一种用于真空蒸镀的送料机构，包括夹具单元、机械臂、蒸镀空腔和蒸镀光罩；所述蒸镀光罩设置在蒸镀空腔内，且蒸镀光罩位于蒸镀空腔内的坩埚上方开口处，所述机械臂设置在蒸镀空腔的一侧上；所述夹具单元包括固定架、第一挂钩、第二挂钩、横向滑动单元、夹片单元和第一驱动单元，所述固定架设置在蒸镀空腔的另一侧上，横向滑动单元设置在第一挂钩与第二挂钩之间，且第一挂钩与第二挂钩对称设置在在横向滑动单元的两侧上；所述第一驱动单元设置在固定架上，第一驱动单元的输出轴设置在横向滑动单元的固定架上，夹片单元设置在第一挂钩与第二挂钩之间，且夹片单元位于第一挂钩和第二挂钩的上方，所述第一挂钩和第二挂钩位于蒸镀空腔的开口上方，机械臂用于将需要蒸镀的玻璃放置于第一挂钩的倒钩和第二挂钩的倒钩上，横向滑动单元用于带动第一挂钩和第二挂钩横向移动。

进一步地，所述夹片单元包括第一夹板、第二夹板、第二驱动单元和第三驱动单元，第二驱动单元设置在第一挂钩的侧面上，第一夹板设置在第二驱动单元的输出轴上，且第一夹板位于第一挂钩的倒钩上方，第三驱动单元设置在第二挂钩的侧面上，第二夹板设置在第三驱动单元的输出轴上，且第二夹板位于第二挂钩的倒钩上方。

进一步地，所述第二驱动单元和第三驱动单元为气缸、油缸或直线电机。

进一步地，所述机械臂的夹爪端设置有托盘，所述托盘的顶面设置有支撑凸起。

进一步地，所述蒸镀光罩的支撑板上设置有校准槽口，校准槽口用于对第一挂钩和第二挂钩在放置玻璃于蒸镀光罩上时进行限位。

进一步地，所述横向滑动单元包括电动机、第一涡杆连杆、第二涡杆连杆和连接套，所述电动机设置在连接套的外侧面上，电动机的输出轴贯穿连接套的侧壁设置有齿轮，第一涡杆连杆的连接端设置在第一挂钩的顶端上，第一涡杆连杆的驱动端设置在连接套内，且第一涡杆连杆与齿轮的一侧相互啮合设置，第二涡杆连杆的连接端设置在第二挂钩的顶端上，第二涡杆连杆的驱动端设置在连接套内，且第二涡杆连杆与齿轮的另一侧相互啮合设置。

进一步地，所述第一驱动单元为气缸、油缸或直线电机。