[实用新型]一种氧化膜电阻器用真空磁控溅射镀膜机有效
| 申请号： | 201920403185.9 | 申请日： | 2019-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN209906875U | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 杨江滨 | 申请（专利权）人： | 咸阳秦华特种电子元器件有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 712000 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 卡块 放置板 转盘 磁悬浮分子泵 本实用新型 工件安装台 升降电机 装夹机构 上端面 升降杆 真空磁控溅射镀膜机 真空磁控溅射镀膜 电阻器技术 机械真空泵 可拆卸连接 罗茨真空泵 焊接固定 加工效率 现有设备 转动安装 下端面 氧化膜 真空泵 电阻 卡装 改造 | ||
1.一种氧化膜电阻器用真空磁控溅射镀膜机，包括磁悬浮分子泵(1)、维持真空泵(2)、罗茨真空泵(3)、机械真空泵(4)和工架(5)，所述磁悬浮分子泵(1)的右侧设置有维持真空泵(2)，维持真空泵(2)的右侧设置有罗茨真空泵(3)，罗茨真空泵(3)的右侧设置有机械真空泵(4)，磁悬浮分子泵(1)的上方设置有工架(5)，其特征在于：所述磁悬浮分子泵(1)的左侧设置有升降电机(6)，升降电机(6)上安装有升降杆(7)，升降杆(7)的顶端转动安装有转盘(8)，转盘(8)的上端面设置有若干工件安装台(9)；工件安装台(9)包括放置板(10)、装夹机构(11)和卡块(12)，装夹机构(11)固定在放置板(10)的上端面，放置板(10)的下端面焊接固定有卡块(12)，卡块(12)卡装在转盘(8)内，卡块(12)与工架(5)可拆卸连接。
2.根据权利要求1所述的一种氧化膜电阻器用真空磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述卡块(12)底部加工有花键轴(18)，工架(5)的上端面开设有套筒(19)，卡块(12)和工架(5)通过花键轴(18)和套筒(19)可拆卸连接。
3.根据权利要求2所述的一种氧化膜电阻器用真空磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述转盘(8)的外圆周面上焊接固定有若干转柄(17)。
4.根据权利要求3所述的一种氧化膜电阻器用真空磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述转柄(17)上套有橡胶套。
5.根据权利要求4所述的一种氧化膜电阻器用真空磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述装夹机构(11)包括夹板(13)、滑块(14)、滑槽(15)和弹簧(16)，夹板(13)焊接固定在滑块(14)上，滑块(14)滑动安装在滑槽(15)内，滑槽(15)开设于放置板(10)的上端面，滑槽(15)内还放置有弹簧(16)。
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