[实用新型]一种氧化膜电阻器用真空磁控溅射镀膜机

说明书

本实用新型涉及电阻器技术领域，具体是一种氧化膜电阻器用真空磁控溅射镀膜机，包括磁悬浮分子泵、维持真空泵、罗茨真空泵、机械真空泵和工架；所述磁悬浮分子泵的左侧设置有升降电机，升降电机上安装有升降杆，升降杆的顶端转动安装有转盘，转盘的上端面设置有若干工件安装台；工件安装台包括放置板、装夹机构和卡块，装夹机构固定在放置板的上端面，放置板的下端面焊接固定有卡块，卡块卡装在转盘内，卡块与工架可拆卸连接。本实用新型结构简单、造价低廉，便于对现有设备进行改造，能够有效提高产品的真空磁控溅射镀膜加工效率，实用性极强。

技术领域

本实用新型涉及电阻器技术领域，具体是一种氧化膜电阻器用真空磁控溅射镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。在进行氧化膜电阻器的生产时，通常需要使用真空磁控溅射镀膜机进行氧化膜电阻器的镀膜作业。

中国专利(公告号：CN206692724U，公告日：2017.12.01)公开了一种真空磁控溅射镀膜机，其包括真空抽气系统、真空室、真空室门、设置在真空室中用于放置镀膜产品的工件转架以及设置在真空室中的磁控溅射装置，其中磁控溅射装置包含与真空室固定连接的磁控靶法兰，其中真空磁控溅射镀膜机还包括设置于磁控溅射装置附近的纳米粉末导入装置。但是该装置进行氧化膜电阻器镀膜操作时，每次将氧化膜电阻器安装在工架上都极为耗费时间，严重影响生产加工效率。

实用新型内容

为了解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型提供了一种氧化膜电阻器用真空磁控溅射镀膜机。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种氧化膜电阻器用真空磁控溅射镀膜机，包括磁悬浮分子泵、维持真空泵、罗茨真空泵、机械真空泵和工架，所述磁悬浮分子泵的右侧设置有维持真空泵，维持真空泵的右侧设置有罗茨真空泵，罗茨真空泵的右侧设置有机械真空泵，磁悬浮分子泵的上方设置有工架；

所述磁悬浮分子泵的左侧设置有升降电机，升降电机上安装有升降杆，升降杆的顶端转动安装有转盘，转盘的上端面设置有若干工件安装台，用于放置待加工的氧化膜电阻器元件；工件安装台包括放置板、装夹机构和卡块，装夹机构固定在放置板的上端面，放置板的下端面焊接固定有卡块，卡块卡装在转盘内，卡块与工架可拆卸连接；通过卡块与工架的可拆卸连接，只需先将待加工的氧化膜电阻器元件通过装夹机构固定在放置板上，然后转动转盘至卡块与工架对齐，通过升降电机驱动升降杆和转盘下降，此时，卡块就会卡装在工架内，然后进行氧化膜电阻器元件的真空磁控溅射镀膜即可，加工完成后，驱动升降电机使升降杆和转盘上升，此时工架和卡块分离，转动转盘，使下一个卡块与工架对齐，再进行卡装，即可继续下一个氧化膜电阻器元件的真空磁控溅射镀膜作业，这样大大提高了产品的加工效率，实用性极强。

作为本实用新型的进一步方案：卡块底部加工有花键轴，工架的上端面开设有套筒，卡块和工架通过花键轴和套筒可拆卸连接。

作为本实用新型的进一步方案：转盘的外圆周面上焊接固定有若干转柄，转柄上套有橡胶套，便于对转盘进行转动。

作为本实用新型的进一步方案：装夹机构包括夹板、滑块、滑槽和弹簧，夹板焊接固定在滑块上，滑块滑动安装在滑槽内，滑槽开设于放置板的上端面，滑槽内还放置有弹簧。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：