[实用新型]一种纳米材料测试平台及使用该测试平台的真空设备

权利要求书

1.一种纳米材料测试平台，其特征在于：包括用于与真空罐体密封连接的法兰，法兰上具有形成观察窗口的通孔，法兰上设置有供探针安装和供向探针供电的导线连接的探针安装座，法兰的外侧面上于通孔处密封安装有玻璃板以供设置于法兰外侧面上的高倍显微镜观察探针与待测试纳米材料。

2.根据权利要求1所述的纳米材料测试平台，其特征在于：所述法兰上于通孔处设置有安装槽，安装槽在水平方向上跨越部分通孔使得通孔在水平方向上连通安装槽，探针安装座位于安装槽内。

3.根据权利要求2所述的纳米材料测试平台，其特征在于：所述探针安装座通过连接板设置于安装槽内，连接板为Z形板，Z形板具有位于安装槽内部的靠近安装槽的槽底的第一水平板部分和位于安装槽外的第二水平板部分，第一水平板部分和第二水平板部分连接竖直连接板部分，第一水平板部分与安装槽的槽底平行，探针安装座设置于第一水平板部分上。

4.根据权利要求3所述的纳米材料测试平台，其特征在于：所述法兰上设置有用于带动第二水平板部分水平导向运动以带动探针导向移动的动力传输结构。

5.根据权利要求4所述的纳米材料测试平台，其特征在于：所述动力传输结构包括转动安装于法兰上的转轴，法兰上沿转轴的长度方向导向移动安装有导向块，转轴与导向块螺纹连接，第二水平板部分连接于导向块上。

6.一种真空设备，包括顶端开口的真空罐体和设置于真空罐体顶部的纳米材料测试平台，其特征在于：所述纳米材料测试平台包括用于与真空罐体的顶端开口密封连接的法兰，法兰上具有形成观察窗口的通孔，法兰上设置有供探针安装和供向探针供电的导线连接的探针安装座，法兰的外侧面上于通孔处密封安装有玻璃板，法兰外侧面设置有高倍显微镜，高倍显微镜通过玻璃板和观察窗口能够观察探针与待测试纳米材料。

7.根据权利要求6所述的真空设备，其特征在于：所述法兰上于通孔处设置有安装槽，安装槽在水平方向上跨越部分通孔使得通孔在水平方向上连通安装槽，探针安装座位于安装槽内。

8.根据权利要求7所述的真空设备，其特征在于：所述探针安装座通过连接板设置于安装槽内，连接板为Z形板，Z形板具有位于安装槽内部的靠近安装槽的槽底的第一水平板部分和位于安装槽外的第二水平板部分，第一水平板部分和第二水平板部分连接竖直连接板部分，第一水平板部分与安装槽的槽底平行，探针安装座设置于第一水平板部分上。

9.根据权利要求8所述的真空设备，其特征在于：所述法兰上设置有用于带动第二水平板部分水平导向运动以带动探针导向移动的动力传输结构。

10.根据权利要求9所述的真空设备，其特征在于：所述动力传输结构包括转动安装于法兰上的转轴，法兰上沿转轴的长度方向导向移动安装有导向块，转轴与导向块螺纹连接，第二水平板部分连接于导向块上。