[实用新型]一种纳米材料测试平台及使用该测试平台的真空设备

说明书

本实用新型涉及一种纳米材料测试平台及使用该测试平台的真空设备，纳米材料测试平台包括用于与真空罐体密封连接的法兰，法兰上具有形成观察窗口的通孔，法兰上设置有供探针安装和供向探针供电的导线连接的探针安装座，法兰的外侧面上于通孔处密封安装有玻璃板以供设置于法兰外侧面上的高倍显微镜观察探针与待测试纳米材料。将探针设置于法兰上，省去了现有技术中的真空波纹管，减小了观察窗口与探针之间的距离，能够使用高倍电子显微镜，提高了检测结果的准确性，解决了现有技术中观察窗口与探针之间无法近距离接触导致无法使用高倍显微镜造成检测数据偏离较大的问题。

技术领域

本实用新型涉及纳米材料测试设备领域，具体涉及一种纳米材料测试平台及使用该测试平台的真空设备。

背景技术

纳米材料在进行测试时，例如进行电信号测试时，需要使用探针接触纳米材料进行测试，且纳米材料需要在真空环境下进行。目前常用的是将纳米材料放置于真空罐体中，然后在真空罐体的上端开有水平孔，水平孔处通过真空波纹管外连接有Z轴位移平台，Z轴位移平台上放安装显微镜，Z轴位移平台的下方设置有探针，探针可以检测纳米材料相应部位的电信号强弱变化，通过显微镜可以观测探针与纳米材料接触地方发生的形变及色彩变化等等信息。真空波纹管以及Z轴位移平台的设置导致整个设备的体积较大，真空波纹管的外端即观察窗口处设置的显微镜与探针的距离无法近距离接触，直接导致高倍显微镜无法观测，只能使用低倍显微镜观测，导致检测数据偏离较大。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种纳米材料测试平台，以解决现有技术中观察窗口与探针之间无法近距离接触导致无法使用高倍显微镜造成检测数据偏离较大的问题；同时，本实用新型的目的还在于提供一种使用该测试平台的真空设备。

为实现上述目的，本实用新型的一种纳米材料测试平台采用如下技术方案：一种纳米材料测试平台，包括用于与真空罐体密封连接的法兰，法兰上具有形成观察窗口的通孔，法兰上设置有供探针安装和供向探针供电的导线连接的探针安装座，法兰的外侧面上于通孔处密封安装有玻璃板以供设置于法兰外侧面上的高倍显微镜观察探针与待测试纳米材料。

所述法兰上于通孔处设置有安装槽，安装槽在水平方向上跨越部分通孔使得通孔在水平方向上连通安装槽，探针安装座位于安装槽内。

所述探针安装座通过连接板设置于安装槽内，连接板为Z形板，Z形板具有位于安装槽内部的靠近安装槽的槽底的第一水平板部分和位于安装槽外的第二水平板部分，第一水平板部分和第二水平板部分连接竖直连接板部分，第一水平板部分与安装槽的槽底平行，探针安装座设置于第一水平板部分上。

所述法兰上设置有用于带动第二水平板部分水平导向运动以带动探针导向移动的动力传输结构。

所述动力传输结构包括转动安装于法兰上的转轴，法兰上沿转轴的长度方向导向移动安装有导向块，转轴与导向块螺纹连接，第二水平板部分连接于导向块上。

本实用新型的一种真空设备采用如下技术方案：一种真空设备，包括顶端开口的真空罐体和设置于真空罐体顶部的纳米材料测试平台，所述纳米材料测试平台包括用于与真空罐体的顶端开口密封连接的法兰，法兰上具有形成观察窗口的通孔，法兰上设置有供探针安装和供向探针供电的导线连接的探针安装座，法兰的外侧面上于通孔处密封安装有玻璃板，法兰外侧面设置有高倍显微镜，高倍显微镜通过玻璃板和观察窗口能够观察探针与待测试纳米材料。

所述法兰上于通孔处设置有安装槽，安装槽在水平方向上跨越部分通孔使得通孔在水平方向上连通安装槽，探针安装座位于安装槽内。

所述探针安装座通过连接板设置于安装槽内，连接板为Z形板，Z形板具有位于安装槽内部的靠近安装槽的槽底的第一水平板部分和位于安装槽外的第二水平板部分，第一水平板部分和第二水平板部分连接竖直连接板部分，第一水平板部分与安装槽的槽底平行，探针安装座设置于第一水平板部分上。