[实用新型]一种平面靶材有效
申请号: | 201920409388.9 | 申请日: | 2019-03-28 |
公开(公告)号: | CN209741264U | 公开(公告)日: | 2019-12-06 |
发明(设计)人: | 沈登涛;曾一鑫 | 申请(专利权)人: | 信元光电有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35 |
代理公司: | 44102 广州粤高专利商标代理有限公司 | 代理人: | 廖苑滨<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 516600 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 靶材 背板 压条 本实用新型 可拆卸固定 多列多行 平面靶材 上下对称 行数 靶材位置 靶材组成 强度原因 替换位置 磁场 生产成本 替换 消耗 | ||
1.一种平面靶材,其特征在于,包括背板、设于所述背板上的靶材组和设于所述靶材组上的压条,所述靶材组通过所述压条可拆卸固定于所述背板上;所述靶材组包括多个成多列多行布置的子靶材,所述子靶材的行数为二的倍数且使得靶材组对应于所述背板中线形成上下对称的布置。
2.根据权利要求1所述的平面靶材,其特征在于,所述子靶材的行数为十。
3.根据权利要求1所述的平面靶材,其特征在于,所述子靶材的列数为二。
4.根据权利要求1所述的平面靶材,其特征在于,所述压条的数量为二,且每一列子靶材对应一条压条设置。
5.根据权利要求1所述的平面靶材,其特征在于,所述子靶材的初始厚度大于等于8mm。
6.根据权利要求1所述的平面靶材,其特征在于,所述压条通过螺栓将所述靶材组固定于所述背板上。
7.根据权利要求6所述的平面靶材,其特征在于,每根压条对应于三个螺栓设置。
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