[实用新型]一种平面靶材

说明书

本实用新型提供了一种平面靶材，包括背板、设于所述背板上的靶材组和设于所述靶材组上的压条，所述靶材组通过所述压条可拆卸固定于所述背板上；所述靶材组包括多个成多列多行布置的子靶材，所述子靶材的行数为二的倍数且使得靶材组对应于所述背板中线形成上下对称的布置。本实用新型提供的平面靶材通过设置由成多列多行布置且能替换位置的子靶材组成的靶材组，且靶材组可拆卸固定于所述背板上，子靶材的行数为二的倍数且使得靶材组对应于所述背板中线形成上下对称的布置，从而因磁场强度原因造成不同位置上的子靶材消耗不同时，可以将子靶材位置进行替换，从而有效提高了利用率，降低了生产成本。

技术领域

本实用新型涉及了镀膜技术领域，特别是涉及了一种平面靶材。

背景技术

目前，随着显示触摸等技术的不断发展和进步，在电子行业对于镀膜工艺的需求也越来越大。在金属镀膜工艺中，平面靶材的消耗是镀膜成本的重要一部分，现有的镀膜工艺中，平面靶材的利用率受到磁场强度的影响，常常出现两端位置的靶材消耗接近完毕，而中间位置却还剩余很多的情况，这样靶材中间位置必然存在浪费，使得平面靶材的利用率不高，提高了生产成本。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种平面靶材，它可以有效提高利用率，降低生产成本。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种平面靶材，包括背板、设于所述背板上的靶材组和设于所述靶材组上的压条，所述靶材组通过所述压条可拆卸固定于所述背板上；所述靶材组包括多个成多列多行布置的子靶材，所述子靶材的行数为二的倍数且使得靶材组对应于所述背板中线形成上下对称的布置。

作为本实用新型的一种优选方案，所述子靶材的行数为十。

作为本实用新型的一种优选方案，所述子靶材的列数为二。

作为本实用新型的一种优选方案，所述压条的数量为二，且每一列子靶材对应一条压条设置。

作为本实用新型的一种优选方案，所述子靶材的初始厚度大于等于8mm。

作为本实用新型的一种优选方案，所述压条通过螺栓将所述靶材组固定于所述背板上。

作为本实用新型的一种优选方案，每根压条对应于三个螺栓设置。

本实用新型具有如下技术效果：本实用新型提供的平面靶材通过设置由成多列多行布置且能替换位置的子靶材组成的靶材组，且靶材组可拆卸固定于所述背板上，从而因磁场强度原因造成不同位置上的子靶材消耗不同时，可以将子靶材位置进行替换，从而有效提高了利用率，降低了生产成本；使得所述子靶材的行数为二的倍数且使得靶材组对应于所述背板中线形成上下对称的布置；即对应于背板中线位置会存在上下两块子靶材，由于靶材组上下对称布置，因此可以将这两块子靶材分别替换到上下两个消耗快的位置上，有效保证了子靶材消耗的均匀性，保证靶材利用率。

附图说明

图1为本实用新型提供的一种平面靶材的结构示意图；

图2为本实用新型提供的一种靶材组的布置示意图；

图3为本实用新型提供的一种子靶材的位置替换示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的目的，技术方案和优点更加清楚，下面结合附图对本实用新型实施方式作进一步详细说明。显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。