[实用新型]一种扫描电子显微镜样品台有效
| 申请号： | 201920412225.6 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN209859911U | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 翟浩;王岩;罗帅;季海铭 | 申请（专利权）人： | 江苏华兴激光科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 42228 武汉今天智汇专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 邓寅杰 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州市邳州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 台柱 放置台 样品台 本实用新型 固定结构 扫描电子显微镜观测 半导体技术领域 扫描电子显微镜 内部中间位置 山峰状凸起 度数 凹型结构 连接固定 平面结构 竖直设置 观测台 两侧壁 上表面 腔室 观测 | ||
1.一种扫描电子显微镜样品台，其特征在于：其包括
呈凹型结构的样片放置台，所述样片放置台的两侧壁为竖直设置的侧部放置台柱，所述侧部放置台柱上表面为平面，样片放置台的内部中间位置设置有一个山峰状凸起结构的中部放置台柱，所述中部放置台柱的两侧边为斜面，中部放置台柱的顶部为平面结构；
样品台固定结构，所述样品台固定结构设置于样片放置台下部，用于与扫描电子显微镜观测腔室观测台的连接固定。
2.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜样品台，其特征在于：所述侧部放置台柱与样片放置台的底部垂直。
3.根据权利要求2所述的扫描电子显微镜样品台，其特征在于：所述中部放置台柱的两侧边与水平面的夹角分别为60°和45°。
4.根据权利要求3所述的扫描电子显微镜样品台，其特征在于：所述侧部放置台柱的上表面与中部放置台柱的上表面齐平。
5.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜样品台，其特征在于：所述样品台固定结构为圆柱体。
6.根据权利要求5所述的扫描电子显微镜样品台，其特征在于：所述侧部放置台柱与中部放置台柱的高度相等，为11~15mm。
7.根据权利要求2所述的扫描电子显微镜样品台，其特征在于：所述侧部放置台柱的宽度为3~5mm，中部放置台柱的宽度为1.5~2.5mm。
8.根据权利要求7所述的扫描电子显微镜样品台，其特征在于：所述中部放置台柱的长度大于侧部放置台柱，侧部放置台柱的内侧壁长度大于外侧壁长度。
9.根据权利要求8所述的扫描电子显微镜样品台，其特征在于：所述中部放置台柱的长度为50~53mm，侧部放置台柱的内侧壁长度为42~45mm，侧部放置台柱的外侧壁长度为36~39mm。
10.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜样品台，其特征在于：所述侧部放置台柱距离中部放置台柱的最小距离为12~14mm。
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