[实用新型]一种扫描电子显微镜样品台

说明书

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种扫描电子显微镜样品台，其不同之处在于：其包括呈凹型结构的样片放置台，所述样片放置台的两侧壁为竖直设置的侧部放置台柱，所述侧部放置台柱上表面为平面，样片放置台的内部中间位置设置有一个山峰状凸起结构的中部放置台柱，所述中部放置台柱的两侧边为斜面，中部放置台柱的顶部为平面结构；样品台固定结构，所述样品台固定结构设置于样片放置台下部，用于与扫描电子显微镜观测腔室观测台的连接固定。本实用新型利用各放置台面的度数偏差来实现多角度、特定角度的样品观测。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种扫描电子显微镜样品台。

背景技术

在半导体制造行业中，我们通常需要使用扫描电子显微镜来进行光栅、波导、外延层等微结构的观测，根据需求选择合适的观测面是极其重要的。针对一个微观结构，观测面有三个，分别为横截面、斜面与平面，在进行斜面观测时我们又有不同的偏转角度可以选择，而当前市面上常见的样品台仅针对一个或两个观测面即每次样品台的进样仅能观测一个或两个观测面，这时我们就需要选择多个类型的样品台进行制样并先后进样，这无疑增加了观测时间，降低了观测效率。

不仅如此，在某些特殊观测任务中，我们需要观测样品斜面且保持同一角度，这时候我们就需要有特定偏转角度的观测台面来保证每次观测角度的相同。

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种扫描电子显微镜样品台，利用各放置台面的度数偏差来实现多角度、特定角度的样品观测。

为解决以上技术问题，本实用新型的技术方案为：一种扫描电子显微镜样品台，其不同之处在于：其包括呈凹型结构的样片放置台，所述样片放置台的两侧壁为竖直设置的侧部放置台柱，所述侧部放置台柱上表面为平面，样片放置台的内部中间位置设置有一个山峰状凸起结构的中部放置台柱，所述中部放置台柱的两侧边为斜面，中部放置台柱的顶部为平面结构；样品台固定结构，所述样品台固定结构设置于样片放置台下部，用于与扫描电子显微镜观测腔室观测台的连接固定。

按以上方案，所述侧部放置台柱与样片放置台的底部垂直。

按以上方案，所述中部放置台柱的两侧边与水平面的夹角分别为60°和45°。

按以上方案，所述侧部放置台柱的上表面与中部放置台柱的上表面齐平。

按以上方案，所述样品台固定结构为圆柱体。

按以上方案，所述侧部放置台柱与中部放置台柱的高度相等，为11~15mm。

按以上方案，所述侧部放置台柱的宽度为3~5mm，中部放置台柱的宽度为1.5~2.5mm。

按以上方案，所述中部放置台柱的长度大于侧部放置台柱，侧部放置台柱的内侧壁长度大于外侧壁长度。

按以上方案，所述中部放置台柱的长度为50~53mm，侧部放置台柱的内侧壁长度为42~45mm，侧部放置台柱的外侧壁长度为36~39mm。

按以上方案，所述侧部放置台柱距离中部放置台柱的最小距离为12~14mm。

本实用新型的有益效果为：本实用新型中的用于扫描电子显微镜的多角度样品台，包括多个角度样品放置台面，其主要利用各放置台面的度数偏差来实现多角度、特定角度的样品横截面、斜面及平面观测；本实用新型特点在于集样品横截面、斜面、平面观测角度于一体，达到三合一大于三的效果，且结构简单，实用性强，减少更换样品台的次数，大幅度提高了观测效率，进一步提高了产能。

附图说明

图1为本实用新型实施例整体结构示意图；

图2为本实用新型实施例前视观测面示意图；

图3为图2的俯视结构示意图；