[实用新型]一种硅片不良品检测装置

权利要求书

1.一种硅片不良品检测装置，包括第一传送带(1)，其特征在于：所述第一传送带(1)的两侧均设置有第一工作架(2)，所述第一工作架(2)的外壁处通过连接杆(3)焊接有第一左右检测摄像机(4)，所述第一工作架(2)的顶部固定连接有稳固架(5)，所述稳固架(5)下表面的一侧固定连接有顶部检测摄像机(6)，所述稳固架(5)下表面的另一侧固定连接有第一深度检测摄像机(7)，所述第一传送带(1)的一侧从左到右依次设置有转向装置(8)、第二传送带(9)和斜向检测装置(10)，所述转向装置(8)包括转盘(81)，所述转盘(81)上表面的一侧焊接有挡板(82)，所述转盘(81)的外壁处通过皮带(83)传动连接有转轴(84)，所述转轴(84)的底部固定连接有电机(85)，所述第二传送带(9)的两侧均设置有第二工作架(11)，所述第二工作架(11)的外壁处焊接有第二左右检测摄像机(12)，所述第二工作架(11)的顶部通过支撑杆(13)固定连接有第二深度检测摄像机(14)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片不良品检测装置，其特征在于：所述第一传送带(1)的上表面设置有待检测硅片，所述第一传送带(1)的底部通过支腿固定连接在地面，所述第一传送带(1)的规格与第二传送带(9)的规格相同。

3.根据权利要求1所述的一种硅片不良品检测装置，其特征在于：所述转盘(81)的底部通过轴承(86)活动连接有加固底座(87)，所述电机(85)的底部焊接在加固底座(87)的上表面。

4.根据权利要求1所述的一种硅片不良品检测装置，其特征在于：所述第二工作架(11)外壁的底端固定连接有底部检测摄像机(15)，所述底部检测摄像机(15)位于第二传送带(9)的正下方。

5.根据权利要求1所述的一种硅片不良品检测装置，其特征在于：所述斜向检测装置(10)包括辊轮架(101)，所述辊轮架(101)的顶部活动连接有缓冲辊(102)，所述辊轮架(101)的底部固定连接有减震座(103)，所述辊轮架(101)的一侧设置有检测台(104)，所述检测台(104)的一端固定连接有防撞块，所述检测台(104)斜面与减震座(103)的夹角为六十度。

6.根据权利要求1所述的一种硅片不良品检测装置，其特征在于：所述第二深度检测摄像机(14)与支撑杆(13)之间的夹角为一百二十度，所述第二深度检测摄像机(14)与检测台(104)的斜面处于平行状态。