[实用新型]掩膜基板及具有它的掩膜板有效
| 申请号： | 201920426839.X | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN209873079U | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 唐军 | 申请（专利权）人： | 唐军 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24 |
| 代理公司： | 44228 广州市南锋专利事务所有限公司 | 代理人： | 郑学伟;叶利军 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市坪山区碧岭*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 掩膜板 蒸镀面 掩膜基板 本实用新型 粗化处理 单次使用 基板本体 有机材料 粗糙度 粗糙面 蒸发源 蒸镀 材料成本 生产效率 使用寿命 玻璃面 洁净度 掉落 粗糙 清洗 玻璃 贯穿 | ||
【权利要求书】：
1.一种掩膜基板，其特征在于，包括：
基板本体，所述基板本体具有蒸镀面、与所述蒸镀面相背的玻璃面及自所述蒸镀面贯穿至所述玻璃面的多个蒸镀孔；
所述蒸镀面被构造成经粗化处理后具有预定粗糙度的粗糙面。
2.根据权利要求1所述的掩膜基板，其特征在于，所述粗糙面为经喷砂工艺处理形成的喷砂表面。
3.根据权利要求1所述的掩膜基板，其特征在于，所述粗糙面为经蚀刻工艺处理形成的蚀刻表面。
4.根据权利要求1所述的掩膜基板，其特征在于，所述玻璃面为光滑面。
5.根据权利要求1所述的掩膜基板，其特征在于，所述粗糙面上形成阵列布置的颗粒结构。
6.根据权利要求1所述的掩膜基板，其特征在于，所述粗糙面上形成沿预定方向延伸的锯齿结构。
7.根据权利要求1所述的掩膜基板，其特征在于，所述蒸镀面包括有效蒸镀区及位于所述有效蒸镀区外侧且用于连接掩膜板框的空置区，所述有效蒸镀区形成为所述粗糙面，所述空置区形成为光滑面。
8.一种掩膜板，其特征在于，包括：
掩膜板框；
如权利要求1至7中任一项所述的掩膜基板，所述掩膜基板设在所述掩膜板框上。
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