[实用新型]掩膜基板及具有它的掩膜板

说明书

本实用新型公开了一种掩膜基板及具有它的掩膜板，其中，该掩膜基板包括基板本体，基板本体具有蒸镀面、与蒸镀面相背的玻璃面及自蒸镀面贯穿至玻璃面的多个蒸镀孔；蒸镀面被构造成经粗化处理后具有预定粗糙度的粗糙面。根据本实用新型提供的掩膜基板及具有它的掩膜板，蒸镀面被构造成经粗化处理后具有预定粗糙度的粗糙面，如此，一方面，有机材料能够挂在该粗糙面上，不易掉落至下方的蒸发源中，可以确保蒸发源的洁净度，减少有机材料的浪费，降低成材料成本。另一方面，可以提高掩膜板单次使用时间，进而提高生产效率。再一方面，掩膜板单次使用时间越长，则可以减少掩膜板清洗的频率，进而延长掩膜板的使用寿命，进一步降低生产成本。

技术领域

本实用新型涉及有机发光显示制造技术领域，尤其涉及一种掩膜基板及具有它的掩膜板。

背景技术

OLED(organic light emitting diode，有机发光二极体)在生产制程中最影响良率的制程为蒸镀制程，蒸镀制程的基本过程即通过加热蒸发源，使得蒸发源中的有机材料蒸发，并通过高精度掩膜板蚀刻完成的蒸镀孔蒸镀到玻璃基板上，形成发光单元。

相关技术中的掩膜板在蒸镀制程中，存在生产成本高、生产效率低及使用寿命短等问题。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出一种掩膜基板。

本实用新型的另一个目的在于提出一种掩膜板。

为实现上述目的，一方面，根据本实用新型实施例的掩膜基板，包括：

基板本体，所述基板本体具有蒸镀面、与所述蒸镀面相背的玻璃面及自所述蒸镀面贯穿至所述玻璃面的多个蒸镀孔；

所述蒸镀面被构造成经粗化处理后具有预定粗糙度的粗糙面。

根据本实用新型实施例提供的掩膜基板，蒸镀面被构造成经粗化处理后具有预定粗糙度的粗糙面，如此，一方面，有机材料能够挂在该粗糙面上，不易掉落至下方的蒸发源中，可以确保蒸发源的洁净度，减少有机材料的浪费，降低成材料成本。另一方面，可以提高掩膜板单次使用时间，进而提高生产效率。再一方面，掩膜板单次使用时间越长，则可以减少掩膜板清洗的频率，进而延长掩膜板的使用寿命，进一步降低生产成本。

另外，根据本实用新型上述实施例的掩膜基板还可以具有如下附加的技术特征：

根据本实用新型的一个实施例，所述粗糙面为经喷砂工艺处理形成的喷砂表面。

根据本实用新型的一个实施例，所述粗糙面为经蚀刻工艺处理形成的蚀刻表面。

根据本实用新型的一个实施例，所述玻璃面为光滑面。

根据本实用新型的一个实施例，所述粗糙面上形成阵列布置的颗粒结构。

根据本实用新型的一个实施例，所述粗糙面上形成沿预定方向延伸的锯齿结构。

根据本实用新型的一个实施例，所述蒸镀面包括有效蒸镀区及位于所述有效蒸镀区外侧且用于连接掩膜板框的空置区，所述有效蒸镀区形成为所述粗糙面，所述空置区形成为光滑面。

另一方面，根据本实用新型实施例的掩膜板，包括：

掩膜板框；

如上所述的掩膜基板，所述掩膜基板设在所述掩膜板框上。