[实用新型]一种COF干膜防反粘的滚轮结构有效
| 申请号： | 201920432129.8 | 申请日： | 2019-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN209747466U | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 杨洁;黄春生;孙彬;吴骏;沈洪;李晓华 | 申请（专利权）人： | 江苏上达电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 44205 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 唐致明<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 干膜 环形圆弧槽 滚轮本体 本实用新型 附着 碎渣 轴向中心线 凹槽滚轮 凹槽结构 产品表面 滚轮结构 向上设置 传统的 退膜液 无死角 槽形 冲刷 段差 内凹 内壁 退膜 替换 污染 | ||
【权利要求书】：
1.一种COF干膜防反粘的滚轮结构，其特征在于，包括：滚轮本体，所述滚轮本体的周向侧壁上开设向所述滚轮本体的轴向中心线内凹的环形圆弧槽。
2.根据权利要求1所述的COF干膜防反粘的滚轮结构，其特征在于：位于所述环形圆弧槽的槽底的点与所述环形圆弧槽的圆心之间的连线，与所述滚轮本体的轴向中心线垂直。
3.根据权利要求1所述的COF干膜防反粘的滚轮结构，其特征在于：若干所述环形圆弧槽沿所述滚轮本体的轴向中心线分布。
4.根据权利要求1所述的COF干膜防反粘的滚轮结构，其特征在于：若干所述环形圆弧槽沿所述滚轮本体的轴向中心线均匀分布。
5.根据权利要求2所述的COF干膜防反粘的滚轮结构，其特征在于：相邻所述环形圆弧槽之间在所述滚轮本体的周向侧壁上设间隔平台。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的COF干膜防反粘的滚轮结构，其特征在于：所述滚轮本体的两端分别设安装支撑台。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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