[实用新型]一种音叉式结构MEMS陀螺仪

权利要求书

1.一种音叉式结构MEMS陀螺仪，其特征在于，所述MEMS陀螺仪包括：第一框架(1a)、第二框架(1b)、第三框架(2a)、第四框架(2b)、第一梁(3a)、第二梁(3b)、第三梁(3c)、第四梁(3d)、第五梁(4a)、第六梁(4b)、第七梁(4c)、第八梁(4d)、第九梁(4e)、第十梁(4f)、第十一梁(4g)、第十二梁(4h)、第十三梁(5a)、第十四梁(5b)、第一梳齿电极(6a)、第二梳齿电极(6b)、第三梳齿电极(6c)、第四梳齿电极(7a)、第五梳齿电极(7b)、第六梳齿电极(7c)、第七梳齿电极(8a)、第八梳齿电极(8b)、第九梳齿电极(8c)、第十梳齿电极(8d)、第十一梳齿电极(9a)、第十二梳齿电极(9b)、第十三梳齿电极(9c)、第十四梳齿电极(9d)以及第一锚点(10a)、第二锚点(10b)、第三锚点(10c)、第四锚点(10d)；第一梁(3a)和第三梁(3c)的一端均与第一框架(1a)的左侧面连接，第一梁(3a)的另一端和第三梁(3c)的另一端分别与第一锚点(10a)和第三锚点(10c)连接；第二梁(3b)和第四梁(3d)一端均与第二框架(1b)的右侧面连接，第二梁(3b)的另一端和第四梁(3d)一端的另一端分别与第二锚点(10b)和第四锚点(10d)连接；第五梁(4a)、第六梁(4b)、第七梁(4c)、第八梁(4d),将第一框架(1a)与第三框架(2a)连接,第三框架(2a)位于第一框架(1a)内；第九梁(4e)、第十梁(4f)、第十一梁(4g)、第十二梁(4h)将第二框架(1b)与第四框架(2b)连接，第四框架(2b)位于第二框架(1b)内；第十三梁(5a)的两端分别与第一框架(1a)的右侧和第二框架(1b)的左侧连接，第十四梁(5b)的两端分别与第一框架(1a)的右侧和第二框架(1b)的左侧连接；第一框架(1a)与第二框架(1b)、第三框架(2a)与第四框架(2b)关于Y轴对称；第一梳齿电极(6a)和第四梳齿电极(7a)均与第一框架(1a)的左侧面连接；第二梳齿电极(6b)和第五梳齿电极(7b)均与第二框架(1b)的右侧面连接；第二梳齿电极(6b)与第一梳齿电极(6a)关于Y轴对称，第五梳齿电极(7b)与第四梳齿电极(7a)关于Y轴对称；第三梳齿电极(6c)的两侧分别与第一框架(1a)的右侧面和第二框架(1b)的左侧面连接，第六梳齿电极(7c)的两侧分别与第一框架(1a)的右侧面和第二框架(1b)的左侧面连接；第七梳齿电极(8a)、第八梳齿电极(8b)、第十一梳齿电极(9a)、第十二梳齿电极(9b)位于第三框架(2a)内，第七梳齿电极(8a)的两侧、第八梳齿电极(8b)的两侧、第十一梳齿电极(9a)的两侧、第十二梳齿电极(9b)的两侧分别与第三框架(2a)的左右内壁连接；第九梳齿电极(8c)、第十梳齿电极(8d)、第十三梳齿电极(9c)、第十四梳齿电极(9d)位于第四框架(2b)内，第九梳齿电极(8c)的左右两侧、第十梳齿电极(8d)的左右两侧、第十三梳齿电极(9c)的左右两侧、第十四梳齿电极(9d)的左右两侧分别与第四框架(2b)的左右内壁连接；第七梳齿电极(8a)与第八梳齿电极(8b)、第十一梳齿电极(9a)与第十二梳齿电极(9b)、第九梳齿电极(8c)与第十梳齿电极(8d)、第十三梳齿电极(9c)与第十四梳齿电极(9d)均关于X轴对称。

2.根据权利要求1所述的音叉式结构MEMS陀螺仪，其特征在于，第七梳齿电极(8a)、第十一梳齿电极(9a)、第十梳齿电极(8d)、第十四梳齿电极(9d)均包括若干个第四梳齿单元，第四梳齿单元包括：4个第七子梳齿、2个第八子梳齿、第八锚点；其中2个第七子梳齿与第八锚点的左侧连接，另外2个第七子梳齿与第八锚点的右侧连接；其中1个第八子梳齿的一端与第三框架(2a)的左侧内壁连接，该第八子梳齿的另一端向左侧2个第七子梳齿之间部分的第八锚点左侧延伸，该第八子梳齿与上下两个第七子梳齿在竖直方向具有重叠部分，且该第八子梳齿距离左侧上方第七子梳齿的竖直距离小于该第八子梳齿距离左侧下方第七子梳齿的竖直距离；另外1个第八子梳齿的一端与第三框架(2a)的右侧内壁连接，该第八子梳齿的另一端向右侧2个第七子梳齿之间部分的第八锚点右侧延伸，该第八子梳齿与上下两个第七子梳齿在竖直方向具有重叠部分，且该第八子梳齿距离右侧上方第七子梳齿的竖直距离小于该第八子梳齿距离右侧下方第七子梳齿的竖直距离；若干个第四梳齿单元的第八锚点在竖直方向依次连接组成第七梳齿电极(8a)或第十一梳齿电极(9a)或第十梳齿电极(8d)或第十四梳齿电极。