[实用新型]一种音叉式结构MEMS陀螺仪

说明书

本实用新型公开了一种音叉式结构MEMS陀螺仪，包括：第一框架、第二框架、第三框架、第四框架、第一梁、第二梁、第三梁、第四梁、第五梁、第六梁、第七梁、第八梁、第九梁、第十梁、第十一梁、第十二梁、第十三梁、第十四梁、第一梳齿电极、第二梳齿电极、第三梳齿电极、第四梳齿电极、第五梳齿电极、第六梳齿电极、第七梳齿电极、第八梳齿电极、第九梳齿电极、第十梳齿电极、第十一梳齿电极、第十二梳齿电极、第十三梳齿电极、第十四梳齿电极以及第一锚点、第二锚点、第三锚点、第四锚点；该陀螺仪可有效抑制加速度和振动引起的测量误差，从而提高器件性能；该结构电极排布方式可抑制检测电极静电力的不利影响，也有利于提高器件的性能。

技术领域

本实用新型涉及运动检测装置领域，具体地，涉及一种音叉式结构MEMS陀螺仪。

背景技术

微机械陀螺仪结构基于Coriolis力原理工作，外界角速度将驱动方向的能量耦合到检测方向上引起检测质量块运动，从而实现角速度测量。但是，检测方向上的加速度和振动也会引起检测质量块运动，从而干扰正常的角速度信号，引起测量误差。因此，需要采取措施抑制加速度和振动的影响。

实用新型内容

本实用新型提出了一种音叉式结构MEMS陀螺仪结构，该陀螺仪结构采用音叉式结构且检测电极采用中心对称分布，可有效抑制加速度和振动引起的测量误差，从而提高器件性能。此外，该结构电极排布方式可抑制检测电极静电力的不利影响，也有利于提高器件的性能。

本实用新型包括了一种音叉式结构MEMS陀螺仪结构，该结构的特点是：1、该结构采用音叉式结构且其中包括四组检测电极，音叉式结构和特殊的检测电极排布共同作用可抑制Y方向加速度和振动的不利影响；2、Y轴同侧的两组检测电极分别关于X轴对称；3、Y轴同侧的两组检测电极作用在检测框架上的静电力大小相等，方向相反，相互抵消，可抑制检测电极静电力的影响；3、X轴同侧的两组检测电极的锚点分别电气连通。

为实现上述实用新型目的，本申请提供了一种音叉式结构MEMS陀螺仪，所述MEMS陀螺仪包括：第一框架、第二框架、第三框架、第四框架、第一梁、第二梁、第三梁、第四梁、第五梁、第六梁、第七梁、第八梁、第九梁、第十梁、第十一梁、第十二梁、第十三梁、第十四梁、第一梳齿电极、第二梳齿电极、第三梳齿电极、第四梳齿电极、第五梳齿电极、第六梳齿电极、第七梳齿电极、第八梳齿电极、第九梳齿电极、第十梳齿电极、第十一梳齿电极、第十二梳齿电极、第十三梳齿电极、第十四梳齿电极以及第一锚点、第二锚点、第三锚点、第四锚点；第一梁和第三梁的一端均与第一框架的左侧面连接，第一梁的另一端和第三梁的另一端分别与第一锚点和第三锚点连接；第二梁和第四梁一端均与第二框架的右侧面连接，第二梁的另一端和第四梁一端的另一端分别与第二锚点和第四锚点连接；第五梁、第六梁、第七梁、第八梁,将第一框架与第三框架连接,第三框架位于第一框架内；第九梁、第十梁、第十一梁、第十二梁将第二框架与第四框架连接，第四框架位于第二框架内；第十三梁的两端分别与第一框架的右侧和第二框架的左侧连接，第十四梁的两端分别与第一框架的右侧和第二框架的左侧连接；第一框架与第二框架、第三框架与第四框架关于Y轴对称；第一梳齿电极和第四梳齿电极均与第一框架的左侧面连接；第二梳齿电极和第五梳齿电极均与第二框架的右侧面连接；第二梳齿电极与第一梳齿电极关于Y轴对称，第五梳齿电极与第四梳齿电极关于Y轴对称；第三梳齿电极的两侧分别与第一框架的右侧面和第二框架的左侧面连接，第六梳齿电极的两侧分别与第一框架的右侧面和第二框架的左侧面连接；第七梳齿电极、第八梳齿电极、第十一梳齿电极、第十二梳齿电极位于第三框架内，第七梳齿电极的两侧、第八梳齿电极的两侧、第十一梳齿电极的两侧、第十二梳齿电极的两侧分别与第三框架的左右内壁连接；第九梳齿电极、第十梳齿电极、第十三梳齿电极、第十四梳齿电极位于第四框架内，第九梳齿电极的左右两侧、第十梳齿电极的左右两侧、第十三梳齿电极的左右两侧、第十四梳齿电极的左右两侧分别与第四框架的左右内壁连接；第七梳齿电极与第八梳齿电极、第十一梳齿电极与第十二梳齿电极、第九梳齿电极与第十梳齿电极、第十三梳齿电极与第十四梳齿电极均关于X轴对称。