[实用新型]一种超薄工件平面支撑装置有效
| 申请号： | 201920444054.5 | 申请日： | 2019-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN209986832U | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 刘斌 | 申请（专利权）人： | 广东海拓创新精密设备科技有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00 |
| 代理公司： | 11210 北京纽乐康知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 张朝元 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市南城街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 主机构 气动升降装置 气源控制器 超薄工件 本实用新型 中央处理器连接 褶皱 高压控制器 中央处理器 固定支撑 静电吸盘 平面校正 平面支撑 气体通道 石英玻璃 外部气源 污渍 支撑板 透气 柔软 吸附 损伤 残留 | ||
1.一种超薄工件平面支撑装置，包括下主机构（11）以及与其配合使用的上主机构（5），其特征在于，所述上主机构（5）上方设有气动升降装置（4），所述气动升降装置（4）连接有支撑板（6），所述支撑板（6）位于上主机构（5）下部开有的凹槽二（501）内，所述下主机构（11）内部设有中央处理器（2）以及与中央处理器（2）连接的气源控制器（1）、高压控制器（3），所述气源控制器（1）连接有外部气源（16）且所述气源控制器（1）与气动升降装置（4）相连，所述下主机构（11）的上部开有凹槽一（1101），所述凹槽一（1101）下方设有若干气体通道（12），所述气体通道（12）与气源控制器（1）相连，所述凹槽一（1101）内由上至下依次设有石英玻璃（7）、超薄工件（8）、可移式静电吸盘（9），所述可移式静电吸盘（9）包括下部的增强基板（15）以及上部的柔性接触面（13），所述柔性接触面（13）由若干电极组（14）构成，所述电极组（14）与高压控制器（3）的高压端子（10）相连。
2.根据权利要求1所述的一种超薄工件平面支撑装置，其特征在于，所述上主机构（5）与下主机构（11）材料为铝合金。
3.根据权利要求1所述的一种超薄工件平面支撑装置，其特征在于，所述电极组（14）的接触点与高压端子（10）的正负极分别连接。
4.根据权利要求1所述的一种超薄工件平面支撑装置，其特征在于，所述高压控制器（3）输出电压为直流高压。
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