[实用新型]一种超薄工件平面支撑装置

说明书

本实用新型涉及一种超薄工件平面支撑装置，包括下主机构以及与其配合使用的上主机构，上主机构上方设有气动升降装置，气动升降装置连接有支撑板，下主机构内部设有中央处理器以及与中央处理器连接的气源控制器、高压控制器，气源控制器连接有外部气源且所述气源控制器与气动升降装置相连，下主机构的上部开有凹槽一，凹槽一下方设有若干气体通道，凹槽一内由上至下依次设有石英玻璃、超薄工件、可移式静电吸盘。本实用新型能够实现对柔软、弯曲、褶皱、透气超薄工件的平面校正及平面固定支撑功能，且能提供稳定吸附、不损伤表面、不残留污渍痕迹。

技术领域

本实用新型涉及支撑装置领域，具体来说，涉及一种超薄工件平面支撑装置。

背景技术

为了对柔软、弯曲、褶皱、透气超薄工件在自动化制造中进行减薄、研磨、抛光、清洗、曝光、刻蚀、镀膜、视觉检测等处理，在进行这些自动化制程中，需要对所加工的超薄工件进行平面校正及平面固定支撑，比如使用胶粘、机械夹持、真空吸附方式将超薄工件固定在平面基板上，实现平面校正及平面固定支撑。

然而，在超薄工件自动化加工过程中时常伴随着酸碱、高温及真空气氛等带来的潜在风险。

若采用胶粘方式，则需要采用耐酸碱溶液、耐高温等粘合剂，自动化加工处理结束，易残留杂质，或增加二次加工造成的损伤、污染、型变风险。

采用机械夹持补强，不仅将产生夹持死角、超薄工件无法全部与平面基板接触，起到平面校正及平面固定支撑的作用，而且在高温状态下无法保持型变固定作用，同时将造成超薄工件边缘区域夹持死角，有效利用面积减小及损伤等问题。

采用真空吸附方式，超薄工件边缘区域无法与平面基板实现有效的接触吸附，依然会存在边缘翘曲和褶皱现象；另外，真空吸附方式无法在真空气氛下实现吸附固定，吸附过程中易导致超薄工件损伤和残留吸痕。

针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

实用新型内容

针对相关技术中的上述技术问题，本实用新型提出一种超薄工件平面支撑装置，能够实现对柔软、弯曲、褶皱、透气超薄工件的平面校正及平面固定支撑功能，且能提供稳定吸附、不损伤表面、不残留污渍痕迹。

为实现上述技术目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

设计一种超薄工件平面支撑装置，包括下主机构以及与其配合使用的上主机构，其特征在于，所述上主机构上方设有气动升降装置，所述气动升降装置连接有支撑板，所述支撑板位于上主机构下部开有的凹槽二内，所述下主机构内部设有中央处理器以及与中央处理器连接的气源控制器、高压控制器，所述气源控制器连接有外部气源且所述气源控制器与气动升降装置相连，所述下主机构的上部开有凹槽一，所述凹槽一下方设有若干气体通道，所述气体通道与气源控制器相连，所述凹槽一内由上至下依次设有石英玻璃、超薄工件、可移式静电吸盘，所述可移式静电吸盘包括下部的增强基板以及上部的柔性接触面，所述柔性接触面由若干电极组构成，所述电极组与高压控制器的高压端子相连。

优选的，所述上主机构与下主机构材料为铝合金。

优选的，所述电极组的接触点与高压端子的正负极分别连接。

优选的，所述高压控制器输出电压为直流高压。

本实用新型的有益效果：

1、设备体积小、能耗低、自动化适应度高。

2、对柔软、弯曲、褶皱、透气超薄工件提供平面校正及平面固定支撑。

3、可在真空和大气环境下使用。

4、脱离电源保持半永久吸附，可在溶液中保持半永久吸附。

5、耐酸碱溶液、耐高温。

6、不损伤产品表面及半导体回路。