[实用新型]石墨盘加热用石英架有效
申请号: | 201920466247.0 | 申请日: | 2019-04-09 |
公开(公告)号: | CN209778992U | 公开(公告)日: | 2019-12-13 |
发明(设计)人: | 张彩根 | 申请(专利权)人: | 湖州东科电子石英有限公司 |
主分类号: | C23C16/46 | 分类号: | C23C16/46;C23C16/44 |
代理公司: | 33234 杭州新源专利事务所(普通合伙) | 代理人: | 刘晓阳 |
地址: | 313009 浙江省湖州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 石英 弯板 本实用新型 石墨盘 石英棒 大管 加热 大尺寸石墨 高温净化炉 清洁效果 使用寿命 架主体 内壁 拆卸 紧贴 对称 | ||
1.石墨盘加热用石英架,其特征在于:包括水平放置的石英大管(1),石英大管(1)内壁的下侧弧面上紧贴有弯板(2),弯板(2)上对称设有两根第一石英棒(3),弯板(2)上方经第一石英棒(3)卡设有石英架主体(4)。
2.根据权利要求1所述的石墨盘加热用石英架,其特征在于:所述石英架主体(4)包括等间距排列的若干层石英环(41),若干层石英环(41)经若干根第二石英棒(42)焊接连接,底层的石英环(41)下部设有方形架(43)。
3.根据权利要求2所述的石墨盘加热用石英架,其特征在于:所述第二石英棒(42)的数量为三根,三根第二石英棒(42)沿石英环(41)外圈平行分布,其中两根第二石英棒在同层石英环上的焊接点连线经过该层石英环的圆心,且两个焊接点到另一根第二石英棒与石英环焊接点的距离相同。
4.根据权利要求2或3所述的石墨盘加热用石英架,其特征在于:所述石英环(41)的数量为四个。
5.根据权利要求1所述的石墨盘加热用石英架,其特征在于:所述弯板(2)的投影圆弧线所对应的圆心角大小介于120°-180°。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湖州东科电子石英有限公司,未经湖州东科电子石英有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201920466247.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的