[实用新型]硅片单面抛光治具

权利要求书

1.一种硅片单面抛光治具，用作真空吸盘，其特征在于：包括：

用于放置硅片(4)的孔板(1)，所述孔板(1)的端面上密集开设有气孔(2)，所述孔板侧壁上开设有出气孔(3)，所述出气孔(3)与所述气孔(2)从孔板(1)的内部相互连通；放置所述硅片(4)时，气孔(2)均被硅片遮盖；

环绕孔板设置的外框(5)，所述外框(5)的内壁与所述孔板(1)的外壁固定连接，所述外框上设有抽气孔(6)，所述抽气孔与出气孔密闭连通。

2.根据权利要求1所述的硅片单面抛光治具，其特征在于：所述孔板(1)的两端端面上均密集开设有所述气孔(2)。

3.根据权利要求1所述的硅片单面抛光治具，其特征在于：所述孔板(1)的内部设有空心层，所述出气孔(3)通过空心层与所述气孔(2)连通。

4.根据权利要求1所述硅片单面抛光治具，其特征在于：所述相邻两个气孔(2)之间的侧壁上开设有通孔，用于所述气孔之间的连通；所述出气孔(3)与与之相邻的气孔(2)之间开设有通孔，用于出气孔(3)与该气孔(2)之间的连通。

5.根据权利要求1所述硅片单面抛光治具，其特征在于：所述出气孔(3)有两个且相对设置在所述孔板(1)的侧壁上；所述抽气孔(6)有两个且与所述出气孔(3)配合设置。