[实用新型]研磨液流量闭环控制系统有效
| 申请号： | 201920491632.0 | 申请日： | 2019-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN209590647U | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 郑东;李长生 | 申请（专利权）人： | 青岛鑫嘉星电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人： | 巩同海 |
| 地址： | 266114 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 流量计 打液 供液管道 闭环控制系统 本实用新型 输出端相连 研磨液流量 开关电源 电动机 变频器 研磨液 流量控制技术 流量自动调节 变频器设置 产品稳定性 流量计安装 电动机电 加工平台 节能运行 一端连接 蓝宝石 存储罐 电连接 上位机 供电 | ||
1.一种研磨液流量闭环控制系统，包括电动机(4)、打液泵(5)和供液管道，打液泵(5)与电动机(4)电连接，打液泵(5)一端连接研磨液存储罐，另一端与蓝宝石加工平台的供液管道相连，打液泵(5)与供液管道内流经研磨液；其特征在于，该系统还包括流量计(6)、开关电源(7)和变频器(1)，流量计(6)安装于供液管道上，流量计(6)与开关电源(7)电连接进行供电；变频器(1)设置有PID控制电路；PID控制电路设置有端子Ⅰ(2)、端子Ⅱ(3)，以及连接电动机(4)的端口U、V、W，其中端子Ⅰ(2)与流量计(6)的输出端相连，端子Ⅱ(3)与上位机的输出端相连；由变频器(1)、电动机(4)、打液泵(5)和流量计(6)构成闭环控制系统。
2.根据权利要求1所述的研磨液流量闭环控制系统，其特征在于，所述流量计(6)采用电容式流量计(6)，型号为FD-M50AT。
3.根据权利要求1或2所述的研磨液流量闭环控制系统，其特征在于，所述开关电源(7)为测量控制电源，开关电源(7)与流量计(6)之间还设置有电磁阀，电磁阀的管路部分的一端与所述流量计(6)连接，管路部分的另一端连接有打液泵(5)。
4.根据权利要求3所述的研磨液流量闭环控制系统，其特征在于，所述上位机包括触摸屏，触摸屏内输入的目标值经通讯线传送至变频器(1)，变频器(1)同时接受管道流量计(6)的实时反馈信号，变频器(1)通过PID控制电路通过比较反馈值和目标值，然后将转速值输出到电动机(4)。
5.根据权利要求1所述的研磨液流量闭环控制系统，其特征在于，所述研磨液采用碳化硼。
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