[实用新型]研磨液流量闭环控制系统

说明书

本实用新型涉及一种研磨液流量闭环控制系统，属于流量控制技术领域。本实用新型包括电动机、打液泵和供液管道，打液泵与电动机电连接，打液泵一端连接研磨液存储罐，另一端与蓝宝石加工平台的供液管道相连，打液泵与供液管道内流经研磨液；该系统还包括流量计、开关电源和变频器，流量计安装于供液管道上，流量计与开关电源电连接进行供电；变频器设置有PID控制电路；PID控制电路设置有端子Ⅰ、端子Ⅱ，其中端子Ⅰ与流量计的输出端相连，端子Ⅱ与上位机的输出端相连；由变频器、电动机、打液泵和流量计构成闭环控制系统。本实用新型可以实现泵节能运行及流量自动调节的功能；以达到降低成本，提高效率，提高产品稳定性的目的。

技术领域

本实用新型涉及一种研磨液流量闭环控制系统，属于流量控制技术领域。

背景技术

目前在蓝宝石的上游加工领域，需要对蓝宝石晶片进行双面研磨。为控制蓝宝石晶片表面应力、平坦度、粗糙度，需对加工工艺严格控制，其中一项是对研磨液流量进行严格控制。目前控制方法是：打液泵工频全速运行，员工定期、定时用量杯采集研磨液进行测量，通过调节管道阀门开度来控制出液量。由于研磨液(碳化硼)硬度极高，打液泵高速运行，因此供液系统零部件磨损消耗过快，流量随之衰减，需频繁校正流量，更换零部件。

实用新型内容

针对现有双研机供液系统存在流量不稳、磨损过快、电能浪费等不足上述缺陷，本实用新型提出了一种研磨液流量闭环控制系统，实现泵节能运行及流量自动调节的功能；以达到降低成本，提高效率，提高产品稳定性的目的。

本实用新型所述的研磨液流量闭环控制系统，包括电动机、打液泵和供液管道，打液泵与电动机电连接，打液泵一端连接研磨液存储罐，另一端与蓝宝石加工平台的供液管道相连，打液泵与供液管道内流经研磨液；该系统还包括流量计、开关电源和变频器，流量计安装于供液管道上，流量计与开关电源电连接进行供电；变频器设置有PID控制电路；PID控制电路设置有端子Ⅰ、端子Ⅱ，以及连接电动机的端口U、V、W，其中端子Ⅰ与流量计的输出端相连，端子Ⅱ与上位机的输出端相连；由变频器、电动机、打液泵和流量计构成闭环控制系统。

进一步地，所述流量计采用电容式流量计，型号为FD-M50AT。

进一步地，所述变频器型号为FR-E740-0.4KW-CHT，变频器上设置有端子Ⅰ和端子Ⅱ，其中端子Ⅰ包括端子2、端子5，是目标值输入端；端子Ⅱ包括端子4、端子5，是流量计反馈端；变频器上还设置有端子SD、端子STF，是电动机启动控制端。

进一步地，所述开关电源为测量控制电源，开关电源与流量计之间还设置有电磁阀，电磁阀的管路部分的一端与所述流量计连接，管路部分的另一端连接有打液泵。

进一步地，所述上位机包括触摸屏，触摸屏内输入的目标值经通讯线传送至变频器，变频器同时接受管道流量计的实时反馈信号，变频器通过PID控制电路通过比较反馈值和目标值，然后将转速值输出到电动机。

进一步地，所述研磨液采用碳化硼。

本实用新型的有益效果是：本实用新型所述的研磨液流量闭环控制系统，实现泵节能运行及流量自动调节的功能；以达到降低成本，提高效率，提高产品稳定性的目的。

附图说明

图1是研磨液流量闭环控制系统的原理图。

图2是变频器的PID控制电路图。

图中：1、变频器；2、端子Ⅰ；3、端子Ⅱ；4、电动机；5、打液泵；6、流量计；7、开关电源。

具体实施方式

为了使本实用新型目的、技术方案更加清楚明白，下面结合实施例，对本实用新型作进一步详细说明。

如图1所示，本实用新型所述的研磨液流量闭环控制系统，变频器1采用的型号为FR-E7400.4KW。