[实用新型]射频宽幅线性大气等离子清洗机

权利要求书

1.射频宽幅线性大气等离子清洗机，包括工艺气体罐(4)，其特征在于：所述工艺气体罐(4)的一侧设置有射频信号发生器(7)、工件(8)与操作台(9)，所述射频信号发生器(7)位操作台(9)的一侧上端，所述工件(8)位于操作台(9)的上端外表面，所述工艺气体罐(4)的一侧上端设置有腔体(1)，所述腔体(1)的内部设置有正电极(2)与护套(5)，所述正电极(2)位于护套(5)的内部，所述腔体(1)的下端一侧设置有一号负电极(3)，所述腔体(1)的下端另一侧设置有二号负电极(6)。

2.根据权利要求1所述的射频宽幅线性大气等离子清洗机，其特征在于：所述腔体(1)的外部设置有一号耐腐蚀涂层，所述腔体(1)的内部设置有二号耐腐蚀涂层，所述腔体(1)的一侧上端设置有连接管，所述腔体(1)的一侧上端外表面通过连接管与工艺气体罐(4)的上端外表面固定连接。

3.根据权利要求1所述的射频宽幅线性大气等离子清洗机，其特征在于：所述工艺气体罐(4)的内部设置有清洗专用的工艺气体，所述工艺气体罐(4)的下端外表面设置有防滑耐压垫片。

4.根据权利要求1所述的射频宽幅线性大气等离子清洗机，其特征在于：所述护套(5)的内部设置有弹性防撞内衬层，所述护套(5)的外部设置有耐腐蚀衬层。

5.根据权利要求1所述的射频宽幅线性大气等离子清洗机，其特征在于：所述正电极(2)的一侧外表面设置有连接线，所述正电极(2)的一侧外表面通过连接线与射频信号发生器(7)的上端外表面电性连接。

6.根据权利要求1所述的射频宽幅线性大气等离子清洗机，其特征在于：所述射频信号发生器(7)的下端设置有接地线，所述射频信号发生器(7)的内部设置有主振级、主振输出调节电位器、电压放大器、输出衰减器、功率放大器、输出变压器与指示电压表。