[实用新型]射频宽幅线性大气等离子清洗机

说明书

本实用新型公开了射频宽幅线性大气等离子清洗机，包括工艺气体罐，所述工艺气体罐的一侧设置有射频信号发生器、工件与操作台，所述射频信号发生器位操作台的一侧上端，所述工件位于操作台的上端外表面。本实用新型所述的射频宽幅线性大气等离子清洗机，设有腔体、正电极、负电极与工艺气体罐，能够确保输出功率较好，气体离化功率高，并可处理形状不规则或表面凹凸不平的材料，杜绝因射频线烧坏而导致设备失效，从而降低了故障发生的概率，并能够满足超宽材料的表面处理需求，并确保工件表面不造成热影响，具有良好的清洗效果，工件在处理后在较长时间内都可以保持效果，安全环保，不造成二次污染，带来更好的使用前景。

技术领域

本实用新型涉及清洗机领域，特别涉及射频宽幅线性大气等离子清洗机。

背景技术

清洗机，是指用于冲洗工件在制造、装配与使用过程及维护时生成或侵入的污染物，一般用于生产车间对工件的清洁，具有耐用、便捷与工作量较大等特点；现有的清洗机在使用时存在一定的弊端，清洗机在使用过程中，无法确保处理的宽度与高度符合人们的需求，并容易因处理温度过高而使清洗效果无法达到人们的需求，并容易使功率持续输出的稳定性较差，气体离化效率较低，无法达到良好的工件表面清洗、蚀刻与活化等效果，在长时间的持续工作下，射频线容易烧坏，导致设备无法运行，从而提高了维修的成本，并且处理的宽度与高度有限，对于宽度较大的材料无法进行表面清理，在处理过程中，容易对工件表面造成热影响，从而导致处理效果无法达到人们的需求，给清洗机的使用带来了一定的影响，为此，我们提出射频宽幅线性大气等离子清洗机。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供射频宽幅线性大气等离子清洗机，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

射频宽幅线性大气等离子清洗机，包括工艺气体罐，所述工艺气体罐的一侧设置有射频信号发生器、工件与操作台，所述射频信号发生器位操作台的一侧上端，所述工件位于操作台的上端外表面，所述工艺气体罐的一侧上端设置有腔体，所述腔体的内部设置有正电极与护套，所述正电极位于护套的内部，所述腔体的下端一侧设置有一号负电极，所述腔体的下端另一侧设置有二号负电极。

优选的，所述腔体的外部设置有一号耐腐蚀涂层，所述腔体的内部设置有二号耐腐蚀涂层，所述腔体的一侧上端设置有连接管，所述腔体的一侧上端外表面通过连接管与工艺气体罐的上端外表面固定连接。

优选的，所述工艺气体罐的内部设置有清洗专用的工艺气体，所述工艺气体罐的下端外表面设置有防滑耐压垫片。

优选的，所述护套的内部设置有弹性防撞内衬层，所述护套的外部设置有耐腐蚀衬层。

优选的，所述正电极的一侧外表面设置有连接线，所述正电极的一侧外表面通过连接线与射频信号发生器的上端外表面电性连接。

优选的，所述射频信号发生器的下端设置有接地线，所述射频信号发生器的内部设置有主振级、主振输出调节电位器、电压放大器、输出衰减器、功率放大器、输出变压器与指示电压表。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：该射频宽幅线性大气等离子清洗机，采用有腔体、正电极、负电极与工艺气体罐，能够采用新型射频电源技术，结合超宽腔体系统与低温处理方案，确保功率持续输出稳定性较好，气体离化功率较高，并可结合独创直连式设计，能够完全杜绝因射射频线烧坏而导致设备损坏，降低了故障发生的概率，从而满足长时间持续工作的需求，提高了产能，低温处理方案确保对工件表面不造成热影响，具有良好的清洗效果，工件在处理后的较长时间内都可以保持清洗效果，并且较为安全环保，不造成二次污染，避免了工件的浪费，降低了成本，整个清洗机结构简单，操作方便，使用的效果相对于传统方式更好。

附图说明

图1为本实用新型射频宽幅线性大气等离子清洗机的整体结构示意图。