[实用新型]晶圆扫描装置及晶圆处理设备

权利要求书

1.一种晶圆扫描装置，其特征在于，包括：

扫描喷头，用于通入溶液，并控制通入的溶液与被扫描的晶圆接触，以实现对晶圆的扫描；

真空吸附单元，安装至所述扫描喷头，用于防止所述扫描喷头内的溶液流出至被扫描的晶圆表面；

注射泵，通过连接管路连通至所述扫描喷头，用于回收扫描喷头内的溶液；

第一流量计，设置到所述扫描喷头，用于统计流至所述扫描喷头的溶液流量，以及自所述扫描喷头流出的溶液的流量；

第二流量计，设置到所述注射泵，用于统计流至所述注射泵的溶液流量，以及自所述注射泵流出的溶液的流量。

2.根据权利要求1所述的晶圆扫描装置，其特征在于，还包括：

控制单元，连接至所述第一流量计和第二流量计，用于对所述第一流量计和第二流量计的统计结果进行比较。

3.根据权利要求2所述的晶圆扫描装置，其特征在于，所述控制单元对所述第一流量计和第二流量计的统计结果进行的比较包括：

比较流至所述扫描喷头的溶液流量和自所述扫描喷头流出至所述注射泵的溶液的流量，判断是否有溶液残留在所述扫描喷头内；

比较流至所述注射泵的溶液流量和自所述注射泵向外流出的溶液的流量，判断是否有溶液残留在所述注射泵内；

比较自所述扫描喷头流出至所述注射泵的溶液的流量和比较流至所述注射泵的溶液的流量，判断是否有溶液残留在所述扫描喷头和注射泵之间的连接管路内。

4.根据权利要求3所述的晶圆扫描装置，其特征在于，还包括：

报警单元，连接至所述控制单元，用于在所述控制单元获取到的比较结果为有溶液残留在所述扫描喷头内，或有溶液残留在所述注射泵内，或有溶液残留在所述扫描喷头和注射泵之间的连接管路内中的任意一种时，发出警报。

5.根据权利要求4所述的晶圆扫描装置，其特征在于，所述报警单元包括蜂鸣器和LED灯中的至少一种。

6.根据权利要求1所述的晶圆扫描装置，其特征在于，还包括：

采样杯，连通至所述注射泵，用于放置被所述注射泵回收的溶液。

7.一种晶圆处理设备，其特征在于，包括：

晶圆扫描装置，包括：

扫描喷头，用于通入溶液，并控制通入的溶液与被扫描的晶圆接触，以实现对晶圆的扫描；

真空吸附单元，安装至所述扫描喷头，用于防止所述扫描喷头内的溶液流出至被扫描的晶圆表面；

注射泵，通过连接管路连通至所述扫描喷头，用于回收扫描喷头内的溶液；

第一流量计，设置到所述扫描喷头，用于统计流至所述扫描喷头的溶液流量，以及自所述扫描喷头流出至所述注射泵的溶液的流量；

第二流量计，设置到所述注射泵，用于统计流至所述注射泵的溶液流量，以及自所述注射泵向外流出的溶液的流量。