[实用新型]一种降低硅片切割过程中金刚线温度的导轮装置

权利要求书

1.一种降低硅片切割过程中金刚线温度的导轮装置，其特征在于：包括导轮、金刚线线网、外部降温装置和内部降温装置，所述金刚线线网缠绕在导轮上切割硅片，所述外部降温装置包括液压泵、输送管和液压池，所述输送管一端通过液压泵与液压池连接，所述输送管另一端朝向所述金刚线线网方向喷淋液压油降低所述金刚线线网的切割温度，所述内部降温装置为设于所述导轮内部的液压槽。

2.根据权利要求1所述的一种降低硅片切割过程中金刚线温度的导轮装置，其特征在于：所述导轮轮面上设有轮槽，所述液压槽距所述轮槽表面的距离为0.8-0.85cm。

3.根据权利要求1所述的一种降低硅片切割过程中金刚线温度的导轮装置，其特征在于：所述导轮端面设有开盖，所述液压槽的槽口延伸到所述开盖处。

4.根据权利要求3所述的一种降低硅片切割过程中金刚线温度的导轮装置，其特征在于：所述内部降温装置还包括开关，所述开关设于所述导轮端面一侧控制所述开盖的开合。

5.根据权利要求1所述的一种降低硅片切割过程中金刚线温度的导轮装置，其特征在于：所述导轮为聚氨酯材质。