[实用新型]一种降低硅片切割过程中金刚线温度的导轮装置

说明书

一种降低硅片切割过程中金刚线温度的导轮装置，包括导轮、金刚线线网、输油导管和液压槽，金刚线线网缠绕在导轮上对硅片进行切割，输油导管将液压冷却液从液压池输送到金刚线线网进行喷淋，液压槽设于导轮内部降低导轮的温度，本实用新型的优点是：输送管从外部降低金刚线的温度；导轮内部设有放置液压油的油箱，从导轮内部对导轮进行降温，延长导轮的使用寿命，降低更换导轮频率，减少生产成本。

技术领域

本实用新型涉及直拉单晶设备领域，尤其涉及一种降低硅片切割过程中金刚线温度的导轮装置。

背景技术

目前的硅片切割工艺是由金刚线线网缠绕在导轮上进行硅片切割，由于在切割过程中金刚线与硅片持续摩擦造成金刚线温度上升，温度过高会影响金刚线的切割性能，甚至产生断线等不良影响，另外，切割温度过高也会影响导轮的使用寿命，因此需要在切割过程中降低金刚线的切割温度，本实用新型提供了一种降低硅片切割过程中金刚线温度的导轮装置。

实用新型内容

本实用新型要解决的问题是提供一种降低硅片切割过程中金刚线温度的导轮装置。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种降低硅片切割过程中金刚线温度的导轮装置，其特征在于：包括导轮、金刚线线网、外部降温装置和内部降温装置，所述金刚线线网缠绕在导轮上切割硅片，所述外部降温装置包括液压泵、输送管和液压池，所述输送管一端通过液压泵与液压池连接，所述输送管另一端朝向所述金刚线线网方向喷淋液压油降低所述金刚线线网的切割温度，所述内部降温装置为设于所述导轮内部的液压槽。

进一步地，所述导轮轮面上设有轮槽，所述液压槽距所述轮槽表面的距离为0.8-0.85cm。

进一步地，所述导轮端面设有开盖，所述液压槽的槽口延伸到所述开盖处。

进一步地，所述内部降温装置还包括开关，所述开关设于所述导轮端面一侧控制所述开盖的开合。

进一步地，所述导轮为聚氨酯材质。

本实用新型具有的优点和积极效果是：本实用新型具有的优点和积极效果是：输送管连接液压池可以直接为金刚线提供冷却液压油，液压泵根据金刚线温度调节输送管输出液压油的流量，从外部降低金刚线的温度；导轮内部设有放置液压冷却油的油箱，从导轮内部对导轮进行降温，延长导轮的使用寿命，降低更换导轮频率，减少生产成本。

附图说明

图1是本实用新型实施例的导轮结构示意图

图2是本实用新型实施例的液压槽结构示意图

图中：1.导轮，2.轮槽，3.液压槽，4.开盖，5.开关，6.槽口

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型实施例做进一步描述：

如图1本实用新型实施例的导轮示意图所示，一种降低硅片切割过程中金刚线温度的导轮装置，包括导轮1、金刚线线网、输油导管和液压槽3，金刚线线网缠绕在导轮1上对硅片进行切割，输油导管将液压冷却油从液压池输送到金刚线线网进行喷淋，液压槽3设于导轮内部降低导轮的温度，

一种降低硅片切割过程中金刚线温度的导轮装置，包括导轮、金刚线线网、外部降温装置和内部降温装置，导轮表面的中间部位设有轮槽2，金刚线线网缠绕在轮槽2上并切割硅片，由于金刚线上的金刚石与硅片在摩擦过程中会不断升温，影响金刚线切割性能，降低切割质量，因此需要降温装置降低金刚线和导轮的温度。

降温装置包括外部降温装置和内部降温装置，外部降温装置包括液压泵、输送管和液压池，液压池内盛放有液压冷却油，输送管一端通过液压泵与液压冷却油连接，另一端设于金刚线上方喷出液压冷却油对金刚线进行降温，提高切割质量，液压泵根据金刚线的温度控制输送管内液压冷却油的流量。