[实用新型]一种用于研磨抛光设备的供液装置有效
| 申请号： | 201920524112.5 | 申请日： | 2019-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN209919660U | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 陈帅;曲迪;白国人;王磊;陈墨;李淼 | 申请（专利权）人： | 天津华慧芯科技集团有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 12101 天津市鼎和专利商标代理有限公司 | 代理人： | 蒙建军 |
| 地址： | 300467 天津市滨海新区生态城*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨抛光设备 液体溶剂 料筒 蠕动泵 转轴 本实用新型 供液装置 半导体制备 浓度均匀性 存储液体 动力机构 端口连接 连接通孔 料筒内腔 中心轴处 喷液头 引流管 圆柱桶 溶剂 侧边 供料 扇叶 有向 连通 保证 | ||
1.一种用于研磨抛光设备的供液装置，用于向研磨抛光设备提供连续或离散的液体溶剂，包括存储液体溶剂的料筒；其特征在于：所述料筒为圆柱桶装结构；
在所述料筒的中心轴处设置有转轴；在上述转轴上安装有对液体溶剂进行搅拌用的扇叶；
所述用于研磨抛光设备的供液装置还包括：
带动上述转轴动作的动力机构；
控制供料速率的蠕动泵；其中：
在上述料筒的底部或者侧边开设有连接通孔；所述蠕动泵的第一端口通过引流管与料筒内腔连通；所述蠕动泵的第二端口连接有向研磨抛光设备提供连续或离散液体溶剂的喷液头。
2.根据权利要求1所述的用于研磨抛光设备的供液装置，其特征在于：所述引流管和喷液头均为橡胶管。
3.根据权利要求1或2所述的用于研磨抛光设备的供液装置，其特征在于：所述扇叶的长度小于料筒的内半径；所述扇叶的轴截面为C形。
4.根据权利要求3所述的用于研磨抛光设备的供液装置，其特征在于：所述扇叶与转轴相互垂直，所述扇叶的一端固定于转轴上。
5.根据权利要求4所述的用于研磨抛光设备的供液装置，其特征在于：所述转轴上固定有两个或三个扇叶。
6.根据权利要求5所述的用于研磨抛光设备的供液装置，其特征在于：所述两个或三个扇叶位于同一水平面上。
7.根据权利要求5所述的用于研磨抛光设备的供液装置，其特征在于：所述两个或三个扇叶位于不同的水平面上。
8.根据权利要求1所述的用于研磨抛光设备的供液装置，其特征在于：所述动力机构为固定于转轴上端部的摇臂。
9.根据权利要求1所述的用于研磨抛光设备的供液装置，其特征在于：所述动力机构包括电机，所述电机的电机轴与转轴上端部固定连接。
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