[实用新型]一种曝光机基板载台及曝光机有效
| 申请号： | 201920529313.4 | 申请日： | 2019-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN209471339U | 公开（公告）日： | 2019-10-08 |
| 发明（设计）人： | 汪杰 | 申请（专利权）人： | 东旭（昆山）显示材料有限公司;东旭光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 张涛 |
| 地址： | 215333 江苏省昆*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 支撑纹 基板载台 曝光机 柱状支撑 直线型 本实用新型 厚度玻璃 基板 市场竞争力 玻璃基板 产品良率 载台本体 制造成本 波浪形 分区域 上表面 台本体 吸附 | ||
1.一种曝光机基板载台，其特征在于，包括载台本体，所述载台本体的上表面设置有支撑纹，所述支撑纹包括直线型支撑纹和多个柱状支撑纹；多个所述柱状支撑纹设置在所述直线型支撑纹的周围。
2.根据权利要求1所述的曝光机基板载台，其特征在于，所述直线型支撑纹和所述柱状支撑纹的高度相同，为3.1-3.8mm。
3.根据权利要求1所述的曝光机基板载台，其特征在于，所述柱状支撑纹为多个且均匀设置在所述直线型支撑纹的两侧。
4.根据权利要求3所述的曝光机基板载台，其特征在于，所述直线型支撑纹为平行设置的两条，多个所述柱状支撑纹呈行地设置在两条所述直线型支撑纹的两侧。
5.根据权利要求4所述的曝光机基板载台，其特征在于，两条所述直线型支撑纹之间的距离为0.5-1mm；所述直线型支撑纹的宽度为0.2-1mm。
6.根据权利要求4或5所述的曝光机基板载台，其特征在于，所述柱状支撑纹的横截面的宽度或直径为0.8-1.2mm；相邻两个柱状支撑纹之间的间隔为0.8-1.2mm。
7.根据权利要求1所述的曝光机基板载台，其特征在于，所述柱状支撑纹为多个且呈阵列地布置在所述载台本体上，且位于阵列中部的一排柱状支撑纹中，相邻两个柱状支撑纹之间通过直线型支撑纹连接。
8.根据权利要求7所述的曝光机基板载台，其特征在于，所述直线型支撑纹的宽度为0.2-0.5mm。
9.根据权利要求7或8所述的曝光机基板载台，其特征在于，所述柱状支撑纹横截面的宽度或直径为0.8-1.2mm。
10.一种曝光机，其特征在于，包括权利要求1-9任意一种所述的曝光机基板载台。
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