[实用新型]一种曝光机基板载台及曝光机

说明书

本实用新型涉及一种曝光机基板载台及采用该基板载台的曝光机，该基板载台包括载台本体，所述载台本体的上表面设置有支撑纹，所述支撑纹包括直线型支撑纹和多个柱状支撑纹；多个所述柱状支撑纹设置在所述直线型支撑纹的周围。本实用新型通过将波浪形的支撑纹改成直线型的支撑纹，其与柱状支撑纹结合使用，既确保了分区域吸附的功能，又使得小厚度玻璃基板的拉姆现象得以改善，进而有效改善了小厚度玻璃基板的拉姆现象对产品良率的影响所造成的损失，大大降低了玻璃基板的制造成本，提高了市场竞争力。

技术领域

本实用新型涉及TFT-LCD彩膜工艺设备技术领域，并且更具体地，涉及到一种曝光机基板载台及曝光机。

背景技术

TFT-LCD彩膜工艺设备中，曝光工序需要使用曝光机，曝光机包括用于承载待曝光基板的基板载台，如图1，图2所示，现有技术的基板载台上设置有波浪形的载台纹路，在波浪形的载台纹路两侧设置有柱状支撑纹，其中，波浪线为平行布置的两条，两条波浪线之间的间距为1mm-2mm，相邻两个柱状支撑纹之间的间距为3-4mm，在生产过程中，随着玻璃基板的厚度的减小，玻璃基板上产生的拉姆现象(stage mura)越来越严重，由此导致了产品的良率大幅度的降低尤其对于0.4mm以下厚度的玻基板，形变量较大，由此导致小厚度玻璃基板的制造成本急剧增加。

基于此，现有技术仍然有待改进。

实用新型内容

本实用新型针对上述问题，目的在于提供一种曝光机基板载台及曝光机，其能解决现有技术的小厚度玻璃基板的拉姆现象严重的技术问题。

为达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一方面，本实用新型的实施例公开了一种曝光机基板载台，包括载台本体，所述载台本体的上表面设置有支撑纹，所述支撑纹包括直线型支撑纹和多个柱状支撑纹；多个所述柱状支撑纹设置在所述直线型支撑纹的周围。

进一步地，所述直线型支撑纹和所述柱状支撑纹的高度相同，为3.1-3.8mm。

进一步地，所述柱状支撑纹为多个且均匀设置在所述直线型支撑纹的两侧。

进一步地，所述直线型支撑纹为平行设置的两条，多个所述柱状支撑纹呈行地设置在两条所述直线型支撑纹的两侧。

进一步地，两条所述直线型支撑纹之间的间距为0.5-1mm；所述直线型支撑纹的宽度为0.2-1mm，优选为0.3-0.8mm，更优选为0.5mm。

进一步地，所述柱状支撑纹的横截面的宽度或直径为0.8-1.2mm；相邻两个柱状支撑纹之间的间隔为0.8-1.2mm。

进一步地，所述柱状支撑纹为多个且呈阵列地布置在所述载台本体上，且位于阵列中部的一排柱状支撑纹中，相邻两个柱状支撑纹之间通过直线型支撑纹连接。

进一步地，所述直线型支撑纹的宽度为0.2-0.5mm。

进一步地，所述柱状支撑纹横截面的宽度或直径为0.8-1.2mm。

另一方面，本实用新型实施例还公开了一种曝光机，其包括上述任意一种所述的曝光机基板载台。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过将波浪形的支撑纹改成直线型的支撑纹，其与柱状支撑纹结合使用，既确保了分区域吸附的功能，又使得小厚度玻璃基板的拉姆现象得以改善，进而有效改善了小厚度玻璃基板的拉姆现象对产品良率的影响所造成的损失，大大降低了玻璃基板的制造成本，提高了市场竞争力。

附图说明