[实用新型]一种石英晶体掩膜电极工装夹具有效
| 申请号： | 201920535542.7 | 申请日： | 2019-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN209982453U | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 张斌 | 申请（专利权）人： | 浙江蓝晶芯微电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;C23C14/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 321100 浙江省金华市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 掩膜板 放置槽 卡槽 顶部外壁 镀膜电极 弹簧 滑槽 夹具 本实用新型 等距离分布 圆盘状结构 底部外壁 电极工装 两侧内壁 螺栓安装 内壁焊接 石英晶体 影响晶体 密封性 限位槽 限位环 靠接 外壁 压板 掩膜 匹配 外围 | ||
1.一种石英晶体掩膜电极工装夹具，包括下掩膜板(1)，其特征在于，所述下掩膜板(1)的顶部外壁靠接有上掩膜板(2)，且下掩膜板(1)的顶部外壁开设有等距离分布的放置槽(3)，所述上掩膜板(2)底部外壁与放置槽(3)对应的位置开设有卡槽(4)，且卡槽(4)与放置槽(3)相匹配，所述放置槽(3)和卡槽(4)的两侧内壁均开设有滑槽(5)，且滑槽(5)的一侧内壁焊接有水平放置的第一弹簧(6)，所述第一弹簧(6)的一端外壁通过螺栓安装有压板(7)，且压板(7)的两端外壁分别与放置槽(3)的两端内壁滑动连接，所述上掩膜板(2)的底部外壁焊接有四个环形阵列分布的固定块(8)，且下掩膜板(1)顶部外壁与固定块(8)对应的位置开设有连接孔(9)，所述连接孔(9)的圆周内壁螺纹连接有固定筒(10)，且固定筒(10)的圆周内壁与固定块(8)的圆周外壁螺纹连接。
2.根据权利要求1所述的一种石英晶体掩膜电极工装夹具，其特征在于，所述固定筒(10)的底部外壁通过螺栓安装有第二弹簧(12)，且第二弹簧(12)的底部外壁通过螺栓安装有密封筒(11)。
3.根据权利要求2所述的一种石英晶体掩膜电极工装夹具，其特征在于，所述密封筒(11)的顶部外壁焊接有环状结构的凸块(14)，且下掩膜板(1)底部外壁与凸块(14)对应的位置开设有凹槽(15)，凹槽(15)与凸块(14)之间相匹配。
4.根据权利要求3所述的一种石英晶体掩膜电极工装夹具，其特征在于，所述固定筒(10)的底端外壁通过螺栓安装有竖直放置的连接杆(13)，且密封筒(11)的底部外壁开设有穿孔，穿孔的圆周内壁与连接杆(13)的圆周外壁滑动连接。
5.根据权利要求4所述的一种石英晶体掩膜电极工装夹具，其特征在于，所述上掩膜板(2)的底部外壁开设有环状结构的安装槽(16)，且安装槽(16)的圆周内壁滑动连接有限位环(17)。
6.根据权利要求5所述的一种石英晶体掩膜电极工装夹具，其特征在于，所述限位环(17)的顶部外壁和安装槽(16)的顶部内壁之间焊接有环形阵列分布的第三弹簧(19)，且限位环(17)的底部外壁通过螺栓安装有硅胶垫(18)。
7.根据权利要求6所述的一种石英晶体掩膜电极工装夹具，其特征在于，所述下掩膜板(1)顶部外壁与限位环(17)对应的位置开设有环状结构的限位槽(20)，且限位槽(20)与限位环(17)的底端相匹配。
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