[实用新型]一种石英晶体掩膜电极工装夹具

说明书

本实用新型公开了一种石英晶体掩膜电极工装夹具，包括下掩膜板，所述下掩膜板的顶部外壁靠接有上掩膜板，且下掩膜板的顶部外壁开设有等距离分布的放置槽，所述上掩膜板底部外壁与放置槽对应的位置开设有卡槽，且卡槽与放置槽相匹配，所述放置槽和卡槽的两侧内壁均开设有滑槽，且滑槽的一侧内壁焊接有水平放置的第一弹簧，所述第一弹簧的一端外壁通过螺栓安装有压板。下掩膜板和上掩膜板均设置成圆盘状结构，下掩膜板和上掩膜板之间的外围利用限位环和环状的限位槽连接，从而增加下掩膜板和上掩膜板之间的密封性，避免镀膜电极用的浆液从下掩膜板和上掩膜板之间的空隙进入，防止影响晶体片镀膜电极的质量。

技术领域

本实用新型涉及石英谐振器制备技术领域，尤其涉及一种石英晶体掩膜电极工装夹具。

背景技术

石英谐振器指的是利用电信号频率等于石英晶片固有频率时，晶片因压电效应而产生谐振现象的原理制成的器件，是晶体振荡器和窄带滤波器等的关键元件，石英谐振器在制备的过程中常需要在石英晶体片的表面镀有膜电极。

常用的镀膜方式有溅射式和蒸镀式，一般将石英晶体片放置在下掩膜板和上掩膜板之间，通过下掩膜板和上掩膜板预留的空隙可在晶体片表面相应的位置镀上膜电极，上掩膜板和下掩膜板构成工装夹具，但是往往由于下掩膜板和上掩膜板之间连接不够紧密，镀膜电极时的浆液会从下掩膜板和上掩膜板之间进入与晶体片接触，影响成品的质量。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种石英晶体掩膜电极工装夹具。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种石英晶体掩膜电极工装夹具，包括下掩膜板，所述下掩膜板的顶部外壁靠接有上掩膜板，且下掩膜板的顶部外壁开设有等距离分布的放置槽，所述上掩膜板底部外壁与放置槽对应的位置开设有卡槽，且卡槽与放置槽相匹配，所述放置槽和卡槽的两侧内壁均开设有滑槽，且滑槽的一侧内壁焊接有水平放置的第一弹簧，所述第一弹簧的一端外壁通过螺栓安装有压板，且压板的两端外壁分别与放置槽的两端内壁滑动连接，所述上掩膜板的底部外壁焊接有四个环形阵列分布的固定块，且下掩膜板顶部外壁与固定块对应的位置开设有连接孔，所述连接孔的圆周内壁螺纹连接有固定筒，且固定筒的圆周内壁与固定块的圆周外壁螺纹连接。

优选的，所述固定筒的底部外壁通过螺栓安装有第二弹簧，且第二弹簧的底部外壁通过螺栓安装有密封筒。

优选的，所述密封筒的顶部外壁焊接有环状结构的凸块，且下掩膜板底部外壁与凸块对应的位置开设有凹槽，凹槽与凸块之间相匹配。

优选的，所述固定筒的底端外壁通过螺栓安装有竖直放置的连接杆，且密封筒的底部外壁开设有穿孔，穿孔的圆周内壁与连接杆的圆周外壁滑动连接。

优选的，所述上掩膜板的底部外壁开设有环状结构的安装槽，且安装槽的圆周内壁滑动连接有限位环。

优选的，所述限位环的顶部外壁和安装槽的顶部内壁之间焊接有环形阵列分布的第三弹簧，且限位环的底部外壁通过螺栓安装有硅胶垫。

优选的，所述下掩膜板顶部外壁与限位环对应的位置开设有环状结构的限位槽，且限位槽与限位环的底端相匹配。

本实用新型的有益效果为：

1、下掩膜板和上掩膜板之间设置有对应的放置槽和卡槽，将晶体片放置在下掩膜板的放置槽内，将上掩膜板的固定块沿着下掩膜板的连接孔进入，晶体片的顶部伸进上掩膜板的卡槽中，固定筒的圆周内壁与固定块的圆周外壁螺纹连接，固定筒的圆周外壁与连接孔的圆周内壁螺纹连接，从而将下掩膜板和上掩膜板固定，从而将晶体片夹紧在放置槽和卡槽之间，并在放置槽和卡槽的两侧利用第一弹簧连接的压板将晶体片的两侧夹紧固定，从而提高晶体片固定的稳定性，保证镀膜电极作业正常进行。