[实用新型]一种用于碳化硅炉炉腔压力控制的控压装置有效
| 申请号： | 201920537661.6 | 申请日： | 2019-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN210089430U | 公开（公告）日： | 2020-02-18 |
| 发明（设计）人： | 胡建荣;高宇;倪军夫;董熔成;石明智;陈吉;傅林坚;曹建伟;李欢 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | F27D19/00 | 分类号： | F27D19/00;F27D7/06 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 周世骏 |
| 地址： | 312300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 碳化硅 炉炉腔 压力 控制 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于碳化硅炉炉腔压力控制的控压装置，包括碳化硅炉腔体，碳化硅炉腔体设有腔体进气口与腔体出气口；腔体出气口与主真空管路一端相连；其特征在于：
主真空管路另一端与真空泵相连；所述主真空管路上设有真空阀与旁路支路；
所述旁路支路为若干并联的控压支路，各个控压支路上均设有真空阀；所述控压支路直径小于主真空管路，且各个控压支路的直径各不相等。
2.根据权利要求1所述的用于碳化硅炉炉腔压力控制的控压装置，其特征在于：所述控压支路有三个。
3.根据权利要求1所述的用于碳化硅炉炉腔压力控制的控压装置，其特征在于：每个控压支路上设有一个真空阀。
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