[实用新型]一种单晶制绒槽防倒灌排液装置

权利要求书

1.一种单晶制绒槽防倒灌排液装置，包括有制绒槽、主排阀、U型管、溢流管、液位光电感应器、缓冲槽、液位管、排液管，所述制绒槽包括有主槽、副槽，制绒槽盛装单晶制绒反应液，制绒槽一侧接通有溢流管，主槽底部、副槽底部皆安装有主排阀，其特征在于所述主排阀、溢流管底部均接通排液管路，所述U型管设置在制绒槽与缓冲槽之间，U型管一侧与缓冲槽接通，缓冲槽上方设置有液位管，缓冲槽底部另一侧接通有排液管，便于废液流出。

2.根据权利要求1所述一种单晶制绒槽防倒灌排液装置，其特征在于所述液位管的流出端与所述排液管接通。

3.根据权利要求1所述的一种单晶制绒槽防倒灌排液装置，其特征在于所述液位管上方设有液位光电感应器，液位光电感应器与PLC电信号连接。

4.根据权利要求1所述一种单晶制绒槽防倒灌排液装置，其特征在于所述主排阀为两个。

5.根据权利要求1所述一种单晶制绒槽防倒灌排液装置，其特征在于所述制绒槽可单独配备一个缓冲槽或多个制绒槽共用一个缓冲槽。