[实用新型]一种单晶制绒槽防倒灌排液装置

说明书

本实用新型公开了一种单晶制绒设备的防倒灌装置，主要涉及单晶制绒设备领域，包括有制绒槽、主排阀、U型管、溢流管、液位光电感应器、缓冲槽、液位管、排液管，所述U型管加装在单晶制绒槽排液管路和缓冲槽中间，U型管设计增加了废液从低液位端倒灌回高液位处的难度，排液管路用于连接制绒槽和缓冲槽，同时将废液排出到废液处理站，本实用新型通过U型管、缓冲槽、主排阀相互间的配合解决的技术问题是可以完全杜绝单晶制绒槽的倒灌异常，保证了单晶制绒工艺稳定性。

技术领域

本实用新型涉及单晶制绒设备领域，尤其涉及一种单晶制绒槽防倒灌排液装置。

背景技术

目前光伏行业发展迅速，各大厂家均在进行扩产，其中多以单晶，单晶制绒设备一般包含3～4个制绒槽，制绒槽为单晶制绒最重要的工艺槽，通过碱/添加剂和硅进行各向异性的反应在硅片表面制备出金字塔结构，但在换液排放槽内药液时或者生产过程中，设备会有定排定补设置，即每反应一定数量的硅片，会向槽内补加一定量的药液同时槽里的液也需要排掉一部分，通过定排定补得以维持槽内化学品浓度平衡，但是排液过程中，由于管路憋气堵塞或者遇到瞬间多槽同时排液下会出现药液从槽体溢流口倒灌回槽内的现象，倒灌现象主要是湿法清洗设备排液时由于管道内憋气或有液位差等情况下液体从排液管道内倒流至槽内的现象，目前行业内没有合适的避免倒灌的装置。

实用新型内容

本实用新型提出了一种单晶制绒槽防倒灌排液装置，首先在排液管上加装U型管增加废液倒灌的难度，另外通过在制绒槽排液管处加装缓冲槽，一旦出现倒灌则倒灌后的液体被缓存到缓冲槽内。

本实用新型采用了如下技术方案：

一种单晶制绒槽防倒灌排液装置，包括有制绒槽、主排阀、U型管、溢流管、液位光电感应器、缓冲槽、液位管、排液管，所述制绒槽包括有主槽、副槽，制绒槽盛装单晶制绒反应液，制绒槽一侧接通有溢流管，主槽底部、副槽底部皆安装有主排阀，所述主排阀、溢流管底部均接通排液管路，所述U型管设置在制绒槽与缓冲槽之间，U型管一侧与缓冲槽接通，缓冲槽上方设置有液位管，缓冲槽底部一侧接通有排液管，便于废液流出。

进一步的技术方案，所述液位管的流出端与所述排液管接通。

进一步的技术方案，所述液位管上方设有液位光电感应器，液位光电感应器与PLC电信号连接。

进一步的技术方案，所述主排阀为两个。

进一步的技术方案，所述制绒槽可单独配备一个缓冲槽或多个制绒槽共用一个缓冲槽。

本实用新型的有益效果：

U型管加装在单晶制绒槽排液管路和缓冲槽中间，U型管增加了废液从低液位端倒灌回高液位处的难度，排液管路用于连接制绒槽和缓冲槽，同时将废液排出到废液处理站，缓冲槽位于制绒槽后方由排废管路连接，每个制绒槽排液管后可单独配备一个缓冲槽，可选择的多个制绒槽可共用一个缓冲槽，排废管路发生倒灌时药液流入缓冲槽，避免了药液从排液管及溢流管倒灌回槽内污染槽体影响工艺，溢流管是常规槽式设备均会配备的安全防护设计，主要为了避免槽内液位过高或异常情况下持续补液时液体可以从溢流口溢流至排液管路内，避免化学品溢出机台，如排液等导致倒灌时液体倒流至缓冲槽，导致液位过高，液位光电感应器感应后信号传送至PLC控制系统，主排阀随即关闭，使制绒槽和排液管完全隔离，同时避免继续排液将缓冲槽冲爆掉。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种单晶制绒槽防倒灌排液装置结构图；

图中：1-主槽；2-副槽；3-主排阀；4-U型管；5-溢流管；6-液位光电感应器；7-缓冲槽；8-液位管；9-排液管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。