[实用新型]一种立式真空镀膜炉

说明书

本实用新型具体公开了一种立式真空镀膜炉，包括真空室（1）、真空镀膜室（2）、低真空系统（3）、高真空系统（4）、维护系统（5）和输送装置（6），所述低真空系统（3）和高真空系统（4）位于真空室（1）的左端并且与真空室（1）相连通，所述真空镀膜室（2）位于真空室（1）的右端并且与真空室（1）相连通，所述维护系统（5）位于真空室（1）的上端并且与真空室（1）相连通，所述输送装置（6）连接在真空镀膜室（2）的后端。本实用新型的立式真空镀膜炉抽真空速度快，保压稳定，同时实现多种工艺不同颜色的产品加工和提高产品质量。

技术领域

本实用新型涉及钢材生产加工领域，具体涉及一种立式真空镀膜炉。

背景技术

真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体（称基板、基片或基体）上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。众所周知，在某些材料的表面上，只要镀上一层薄膜，就能使材料具有许多新的、良好的物理和化学性能。真空镀膜室一般包含有测温组件、弧源组件、加热管组件、固定架和反应气体组件等。

但是，现有的卧室真空镀色结构比较复杂、保压不稳定、抽真空速度比较慢、颜色不可控和质量不稳定。

实用新型内容

本实用新型发明要解决的技术问题是克服现有技术的保压不稳定、抽真空速度比较慢、颜色不可控的不足，提供一种立式真空镀膜炉。该立式真空镀膜炉抽真空速度快，保压稳定，同时实现多种工艺不同颜色的产品加工和提高产品质量。

本发明所要解决的上述问题通过以下技术方案以实现：

一种立式真空镀膜炉，包括真空室、真空镀膜室、低真空系统、高真空系统、维护系统和输送装置，所述低真空系统和高真空系统位于真空室的左端并且与真空室相连通，所述真空镀膜室位于真空室的右端并且与真空室相连通，所述维护系统位于真空室的上端并且与真空室相连通，所述输送装置连接在真空镀膜室的后端。

优选的，所述低真空系统包括低速扩散泵、低速罗茨泵、低速电机、低速粗抽泵和第二抽气炉，所述低速扩散泵、低速罗茨泵和低速粗抽泵均通过低速电机与第二抽气炉连通，所述第二抽气炉通过连接管与真空室连接为一体。本方案通过低速的扩散泵、罗茨泵、电机、粗抽泵可以迅速的将真空室的空气抽完，并且适应钢材表面所需的颜色等要求。

优选的，所述高真空系统包括高转速电机、高速扩散泵、高速罗茨泵、高速粗抽泵和第一抽气炉，所述速扩散泵、高速罗茨泵和高速粗抽泵均通过高转速电机与第一抽气炉连接为一体，所述第一抽气炉通过连接管与真空室连接为一体。本方案通过高转速的电机、扩散泵、罗茨泵、粗抽泵和第一抽气炉使得真空室的空气更加迅速稳定地抽取掉，并且还可以使得真空镀膜室的产品表面的镀层的工艺颜色等达到不同的要求。

优选的，所述维护系统包括维护电机、维护维持泵、维护罗茨泵、维护扩散泵和维护粗抽泵，所述维护维持泵、维护罗茨泵、维护扩散泵和维护粗抽泵均通过维护电机与真空室连接为一体。本方案通过维护系统的各大设备在抽真空流程结束后能够使得真空室和真空镀膜室的各大系数保持稳定，进而使得钢材表面的镀层保持稳定，提高质量。

优选的，所述输送装置包括第一分输送装置、第二分输送装置、输送架和机械抓臂，所述第一分输送装置固定在输送架上部，所述第二分输送装置固定在第一分输送装置的上端，所述机械抓臂固定在第二分输送装置的上端。本方案通过机械抓臂抓住钢材在第一分输送装置和第二分输送装置的运转至真空镀膜室的内部的安装架上，可以减少人工的操作，还可以避免完成镀层后操作人员无意触碰高温的钢材造成损伤。