[实用新型]晶舟夹取机构的位移驱动装置

权利要求书

1.晶舟夹取机构的位移驱动装置，其特征在于，包括平移驱动机构、升降驱动机构、连接杆(30)和一对拨杆开关(40)；

所述平移驱动机构由固定座(11)、伺服电机一(12)、齿条(13)、齿轮和两条直线滑轨一(14)构成，两条所述直线滑轨一(14)和齿条(13)平行固定于所述固定座(11)上，所述齿条(13)位于两条直线滑轨一(14)之间，所述固定座(11)固定在所述直线滑轨一的滑块上，所述伺服电机一(12)固定于固定座(11)中，所述齿轮与所述齿条(13)啮合且固定于所述伺服电机一的输出轴上；

所述升降驱动机构由基座(21)、伺服电机二(22)、滚珠丝杆副(23)和两条直线滑轨二(24)构成，两条直线滑轨二(24)平行且竖直地固定于所述固定座(11)中，所述基座(21)固定在所述滚珠丝杆副(23)的轴套上，所述伺服电机二(22)固定于固定座(11)中，所述伺服电机二(22)作为动力源滚珠丝杆副(23)带动轴套和基座(21)升降运动；

所述连接杆的底部安装在所述基座(21)上，晶舟夹取机构安装在所述连接杆的顶部；一对拨杆开关安装在晶舟夹取机构的一对夹持臂上，所述拨杆开关的拨杆向下延伸至所述夹持臂的下方。

2.根据权利要求1所述的晶舟夹取机构的位移驱动装置，其特征在于，所述固定座(11)为具有中空腔室的箱体，所述伺服电机一(12)和所述升降驱动机构位于所述箱体中。

3.根据权利要求2所述的晶舟夹取机构的位移驱动装置，其特征在于，所述固定座(11)与直线滑轨一(14)的滑块连接的部分是一块铝合金平板，两条直线滑轨二(24)嵌装在平板中。

4.根据权利要求2所述的晶舟夹取机构的位移驱动装置，其特征在于，所述固定座(11)中安装有滚珠轴套(60)，所述连接杆从所述滚珠轴套中穿过。

5.根据权利要求1所述的晶舟夹取机构的位移驱动装置，其特征在于，所述伺服电机二(22)与所述滚珠丝杆副(23)之间采用皮带组件连接。

6.根据权利要求1所述的晶舟夹取机构的位移驱动装置，其特征在于，所述伺服电机一(12)和伺服电机二(22)的电机外壳上设置有与所述固定座(11)固连的连接板(70)，所述连接板中安装有与输出轴连接的轴承。