[实用新型]晶舟夹取机构的位移驱动装置

说明书

为了解决动晶舟夹取机构位移精度低的技术问题，本实用新型提供了一种包括平移驱动机构、升降驱动机构、连接杆和一对拨杆开关的晶舟夹取机构的位移驱动装置，平移驱动机构由伺服电机一、齿条、齿轮和两条直线滑轨一构成；升降驱动机构由基座、伺服电机二、滚珠丝杆副和两条直线滑轨二构成；一对拨杆开关安装在晶舟夹取机构的一对夹持臂上，拨杆开关的拨杆向下延伸至所述夹持臂的下方。伺服电机、齿轮齿条、滚珠丝杆副的组合驱动晶舟夹取机构升降和平移，配合直线导轨导向，提高晶舟夹取机构的位移精度；同时，两个拨杆开关探测晶舟的位置，PLC根据两个拨杆开关的打开情况及时修正晶舟夹取机构的位置。

技术领域

本实用新型设计半导体制造技术领域，主要是涉及晶舟夹取机构，特别是用于晶舟夹取机构的位移驱动装置。

背景技术

在半导体产业的制造工厂中通常配置有多台的湿式工艺设备用于批次式的处理大量的晶圆。湿式工艺中使用晶舟或者提篮承装晶圆，晶舟在不同设备之间或者不同工位之间依靠晶舟夹取机构进行转移。现有的晶舟夹取机构是采用以垂直于晶舟方向的夹持力来夹持晶舟，但是在实际使用中发现，夹取机构向下夹取晶舟会发生夹取不到或者晶舟脱落的情况，究其原因，与夹取机构的位移精度不高有关，位移误差的累积导致夹取机构在某次抓取时发生严重偏离，导致夹取机构无法抓取或者无法完全抓取晶舟。

现有的晶圆生产设备是智能一体化的，即各台设备之间的联动依靠PLC控制，具有固定的节拍，夹取机构即使夹取不到晶舟或者晶舟歪斜，设备也会按照节拍继续进行，导致设备空运转，造成产能浪费和晶圆的损坏。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种能精确带动晶舟夹取机构位移的位移驱动装置。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案如下：

晶舟夹取机构的位移驱动装置，包括平移驱动机构、升降驱动机构、连接杆和一对拨杆开关；

所述平移驱动机构由固定座、伺服电机一、齿条、齿轮和两条直线滑轨一构成，两条所述直线滑轨一和齿条平行固定于所述固定座上，所述齿条位于两条直线滑轨一之间，所述固定座固定在所述直线滑轨一的滑块上，所述伺服电机一固定于固定座中，所述齿轮与所述齿条啮合且固定于所述伺服电机的输出轴上；

所述升降驱动机构由基座、伺服电机二、滚珠丝杆副和两条直线滑轨二构成，两条直线滑轨二平行且竖直地固定于所述固定座中，所述基座固定在所述滚珠丝杆副的轴套上，所述伺服电机二固定于固定座中，所述伺服电机二作为动力源滚珠丝杆副带动轴套和基座升降运动；

所述连接杆的底部安装在所述基座上，晶舟夹取机构安装在所述连接杆的顶部；一对拨杆开关安装在晶舟夹取机构的一对夹持臂上，所述拨杆开关的拨杆向下延伸至所述夹持臂的下方。

在本技术方案中，先由平移驱动机构带动晶舟夹持机构向晶舟处平移，然后由升降驱动机构带动晶舟夹持机构向晶舟处下降，如果两个拨杆开关的拨杆撞击到晶舟，两个拨杆开关被同时打开，说明晶舟夹持机构位于晶舟的正上方且已下降至预设高度，此时晶舟夹持机构可夹取晶舟；如果两个拨杆开关没有被打开或者只有一个被打开，说明晶舟夹持机构偏离预设位置，平移驱动机构和升降驱动机构根据拨杆开关的打开数量快速修正晶舟夹持机构的位置，以使晶舟夹持机构能顺利将晶舟夹持。

在一个实施例中，所述固定座为具有中空腔室的箱体，所述伺服电机一和所述升降驱动机构位于所述箱体中。

在一个实施例中，所述固定座与直线滑轨一的滑块连接的部分是一块铝合金平板，两条直线滑轨二嵌装在平板中。

在一个实施例中，所述固定座中安装有滚珠轴套，所述连接杆从所述滚珠轴套中穿过。

在一个实施例中，所述伺服电机二与所述滚珠丝杆副之间采用皮带组件连接。