[实用新型]一种PVD镀膜装置

权利要求书

1.一种PVD镀膜装置，其特征在于：它包括镀膜仓(1)，所述镀膜仓(1)顶部铰接有密封盖(2)，所述镀膜仓(1)的底部设有支撑架(3)，所述支撑架(3)的底部安装有真空泵(4)，所述真空泵(4)的抽气口与镀膜仓(1)内部连通，所述镀膜仓(1)内部底端设有加热机构(5)，所述加热机构(5)上方镀膜仓(1)内部水平连接有支撑板(6)，所述支撑板(6)上开设有安装口，所述安装口内部固定安装有风罩(7)，所述风罩(7)开口朝下，所述风罩(7)内部安装有风扇，所述风罩(7)上方设有镀膜机构(8)，所述镀膜机构(8)包括排气硬管(801)、喷头(802)和排气软管(803)，所述排气硬管(801)顶部设有喷头(802)，所述排气硬管(801)的套入设置在滑块(9)的通孔内，所述滑块(9)的侧壁上设置有螺纹孔，所述螺纹孔上安装有紧固螺栓(10)，所述滑块(9)设置在丝杆滑台(11)上，所述丝杆滑台(11)的一端伸出镀膜仓(1)外并连接有电机(12)，所述排气硬管(801)与风罩(7)之间通过两根排气软管(803)连通，所述喷头(802)的上方镀膜仓(1)两端的内壁上对称安装有限位板(13)，所述限位板(13)内设置有用于注入加热液的空腔(14)，同时限位板(13)的侧壁上配合设置有加热液循环管路，两块所述限位板(13)顶部共同安装有样板(15)，所述样板(15)上表面设有多个夹紧装置(16)。

2.根据权利要求1所述的一种PVD镀膜装置，其特征在于：所述支撑架(3)底部设有电瓶盒(17)，所述电瓶盒(17)内部安装有蓄电瓶(18)，所述真空泵(4)、电机(12)和风扇均通过导线与蓄电瓶(18)连接，且所述真空泵(4)与蓄电瓶(18)之间的导线上安装有开关。

3.根据权利要求2所述的一种PVD镀膜装置，其特征在于：所述加热机构(5)包括底座(501)、金属棒(502)和钨丝(503)，所述底座(501)固定连接在镀膜仓(1)内部底端，所述底座(501)上方开设有安装槽(19)，所述安装槽(19)内部水平设有金属棒(502)，所述金属棒(502)的外表面缠绕有钨丝(503)，所述钨丝(503)通过导线与蓄电瓶(18)连接。

4.根据权利要求3所述的一种PVD镀膜装置，其特征在于：所述镀膜仓(1)的左侧壁上设置有真空计(20)。

5.根据权利要求4所述的一种PVD镀膜装置，其特征在于：所述排气硬管(801)上设置有刻度线。

6.根据权利要求5所述的一种PVD镀膜装置，其特征在于：所述排气软管(803)上设置有电磁阀(21)。

7.根据权利要求6所述的一种PVD镀膜装置，其特征在于：所述镀膜仓(1)内壁的下端与镀膜仓(1)的底部倾斜设置，所述镀膜仓(1)的底部设置有两个排废管(22)，所述排废管(22)为漏斗状，所述排废管(22)的颈部伸出镀膜仓(1)外并安装有阀门(23)，所述排废管(22)的末端可拆卸安装有集料盒(24)。

8.根据权利要求7所述的一种PVD镀膜装置，其特征在于：所述镀膜仓(1)和排废管(22)的内壁上均涂覆有一层耐高温防粘涂料，所述风罩(7)、支撑板(6)和丝杆滑台(11)的外壁上均突入有一层耐高温防粘涂料。