[实用新型]推片装置

权利要求书

1.一种推片装置，其特征在于，包括：

晶圆盒放置板，用于放置待进行推片的晶圆盒；

推片单元，安装于所述晶圆盒放置板，能够相对于晶圆盒发生水平方向的运动，包括推杆，所述推杆垂直于水平面，并位于所述晶圆盒放置板上方，能够伸入晶圆盒，以推动晶圆盒内放置的晶圆，还包括锁块，位于所述晶圆盒放置板下方；

锁定单元，设置于所述晶圆盒放置板，包括：

凸块，突出设置于所述晶圆盒放置板上表面；

限位件，连接至所述凸块，穿过所述晶圆盒放置板，并突出于所述晶圆盒放置板的下表面，与所述锁块相接触，对所述锁块进行限位，从而限位所述推片单元的水平位置；

所述凸块上方放置有晶圆盒时，所述限位件相对于所述晶圆盒放置板提起，所述锁块脱离限位。

2.根据权利要求1所述的推片装置，其特征在于，所述凸块的数目为两个，所述限位件的数目也为两个，且一个凸块对应连接至一个限位件。

3.根据权利要求2所述的推片装置，其特征在于，两个凸块的连线平行于所述推片单元推动晶圆时的运动方向。

4.根据权利要求2所述的推片装置，其特征在于，两个限位件的连线平行于所述推片单元推动晶圆时的运动方向。

5.根据权利要求1所述的推片装置，其特征在于，还包括驱动件，连接至所述推片单元，用于驱动所述推片单元。

6.根据权利要求1所述的推片装置，其特征在于，还包括推杆手柄，连接至所述推片单元，用于供用户手动驱动所述推片单元。

7.根据权利要求1所述的推片装置，其特征在于，所述限位件和所述凸块一体化连接，且所述限位件和凸块所组成的一体化结构能够绕一旋转轴旋转，所述旋转轴过所述一体化结构，使所述限位件外露于所述晶圆盒放置板的体积发生变化。

8.根据权利要求1所述的推片装置，其特征在于，还包括：

限位导轨，突出设置于所述晶圆盒放置板上表面，与晶圆盒的底部相匹配，用于限位放置到所述晶圆盒放置板上表面的晶圆盒，使晶圆盒被放置至预设位置。