[实用新型]推片装置

说明书

该实用新型涉及一种推片装置具有锁定单元，对推片单元起到锁定作用。在晶圆盒未放置到凸块时，推片单元被锁定单元的限位件锁定，无法移动以推动晶圆盒内放置的晶圆，不会造成碎片。进一步的，锁定单元设置有两个凸块，只有当两个晶圆盒同时放置到对应的位置，与两个凸块相接触时，推片单元才可以完全脱离锁定单元对它的锁定，顺利的将一个晶圆盒内放置的晶圆推出至另一个晶圆盒，从而防止在将晶圆从一个晶圆盒转移到另一个晶圆盒内时发生晶圆的破损，提高晶圆加工的良率。

技术领域

本实用新型涉及晶圆生产加工设备领域，具体涉及一种推片装置。

背景技术

在晶圆生产过程中，由于设备生产、工艺流程以及运输保存等的需要，经常需要将晶圆片从一个晶圆盒转入到另一个晶圆盒。在转入过程中，通常使用真空吸笔将晶圆从一个晶圆盒转移到另一个晶圆盒，但是这种作业为纯手工作业，存在掉片和刮伤晶圆的风险，且效率极低，因此，现有技术中，还有一种推杆的方法，将一个晶圆盒内的晶圆推入至另一晶圆盒，从而实现高效的晶圆片的盒间转移。

然而，采用的推杆的方法时，需要将两个晶圆盒对接，而在对接过程出现谬误，就会导致一个晶圆盒内放置的所有晶圆都被推出、发生毁损，严重影响晶圆加工的良率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种推片装置，能够增大晶圆加工的良率。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种推片装置，包括：晶圆盒放置板，用于放置待进行推片的晶圆盒；推片单元，安装于所述晶圆盒放置板，能够相对于晶圆盒发生水平方向的运动，包括推杆，所述推杆垂直于水平面，并位于所述晶圆盒放置板上方，能够伸入晶圆盒，以推动晶圆盒内放置的晶圆，还包括锁块，位于所述晶圆盒放置板下方；锁定单元，设置于所述晶圆盒放置板，包括：凸块，突出设置于所述晶圆盒放置板上表面；限位件，连接至所述凸块，穿过所述晶圆盒放置板，并突出于所述晶圆盒放置板的下表面，与所述锁块相接触，对所述锁块进行限位，从而限位所述推片单元的水平位置；所述凸块上方放置有晶圆盒时，所述限位件相对于所述晶圆盒放置板提起，所述锁块脱离限位。

可选的，所述凸块的数目为两个，所述限位件的数目也为两个，且一个凸块对应连接至一个限位件。

可选的，两个凸块的连线平行于所述推片单元推动晶圆时的运动方向。

可选的，两个限位件的连线平行于所述推片单元推动晶圆时的运动方向。

可选的，还包括驱动件，连接至所述推片单元，用于驱动所述推片单元。

可选的，还包括推杆手柄，连接至所述推片单元，用于供用户手动驱动所述推片单元。

可选的，所述限位件和所述凸块一体化连接，且所述限位件和凸块所组成的一体化结构能够绕一旋转轴旋转，所述旋转轴过所述一体化结构，使所述限位件外露于所述晶圆盒放置板的体积发生变化。

可选的，还包括：限位导轨，突出设置于所述晶圆盒放置板上表面，与晶圆盒的底部相匹配，用于限位放置到所述晶圆盒放置板上表面的晶圆盒，使晶圆盒被放置至预设位置。

上述推片装置具有锁定单元，对推片单元起到锁定作用。在晶圆盒未放置到凸块时，推片单元被锁定单元的限位件锁定，无法移动以推动晶圆盒内放置的晶圆，不会造成碎片。进一步的，锁定单元设置有两个凸块，只有当两个晶圆盒同时放置到对应的位置，与两个凸块相接触时，推片单元才可以完全脱离锁定单元对它的锁定，顺利的将一个晶圆盒内放置的晶圆推出至另一个晶圆盒，从而防止在将晶圆从一个晶圆盒转移到另一个晶圆盒内时发生晶圆的破损，提高晶圆加工的良率。

附图说明

图1为本实用新型的一种具体实施方式中的推片装置的剖面示意图。

图2为本实用新型的一种具体实施方式中的推片装置的局部放大动态示意图。